气体流场作用下直线驱动二维气浮工作台的振动特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第13-16页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第16-19页 |
| 1.2.1 气浮工作台的应用现状 | 第16-17页 |
| 1.2.2 气浮技术研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 气浮工作台的振动研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 本课题来源与研究内容 | 第19-21页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.3.2 本课题主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 气体流场引起微振动的机理研究 | 第21-37页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 流致振动的产生原理 | 第21-22页 |
| 2.3 气体流场的仿真计算 | 第22-27页 |
| 2.3.1 气膜的仿真模型 | 第23页 |
| 2.3.2 气体润滑方程 | 第23-25页 |
| 2.3.3 CFD求解计算方法 | 第25-26页 |
| 2.3.4 CFD计算的预处理工作 | 第26-27页 |
| 2.4 压力腔内气体流场对微振动的影响因素 | 第27-35页 |
| 2.4.1 节流器类型 | 第27-31页 |
| 2.4.2 节流孔直径 | 第31-33页 |
| 2.4.3 气膜厚度 | 第33-34页 |
| 2.4.4 供气压力 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 气膜的抗振性能研究 | 第37-51页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 气浮工作台结构特点 | 第37-38页 |
| 3.3 动力学模型的建立 | 第38-40页 |
| 3.4 气膜刚度的计算理论与有限元仿真 | 第40-44页 |
| 3.5 气膜刚度的实验验证 | 第44-45页 |
| 3.6 气膜抗振性能的影响因素研究 | 第45-49页 |
| 3.6.1 气膜面上节流孔分布密度 | 第45-47页 |
| 3.6.2 均压槽形式 | 第47-49页 |
| 3.7 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 气浮工作台的振动响应特性研究 | 第51-60页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 模态叠加谐响应分析法原理 | 第51-52页 |
| 4.3 X轴滑台的模态分析 | 第52-54页 |
| 4.4 X轴滑台振动响应特性计算结果 | 第54-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 气浮工作台的振动实验与分析 | 第60-75页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 振动信号采集系统 | 第60-62页 |
| 5.3 振动信号的采集 | 第62-64页 |
| 5.4 振动信号分析方法 | 第64-69页 |
| 5.4.1 HHT变换介绍 | 第65-67页 |
| 5.4.2 HHT变换的程序实现 | 第67-68页 |
| 5.4.3 HHT变换的验证 | 第68-69页 |
| 5.5 实验数据的HHT分析 | 第69-74页 |
| 5.5.1 HHT变换的滤波去噪功能 | 第69-70页 |
| 5.5.2 供气前的振动信号分析 | 第70-71页 |
| 5.5.3 供气后的振动信号分析 | 第71-74页 |
| 5.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表的论文 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
