三温区晶体生长炉控制系统设计与控制方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 晶体生长炉温度控制系统发展概况 | 第10-13页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第13-16页 |
| 第2章 三温区晶体生长炉特性及控制系统总体设计 | 第16-20页 |
| 2.1 三温区晶体生长炉结构和特点 | 第16-17页 |
| 2.2 三温区晶体生长炉温控制系统总体设计 | 第17-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 控制系统的软硬件设计 | 第20-42页 |
| 3.1 系统基本结构和功能简介 | 第20-26页 |
| 3.1.1 硬件开发环境简介 | 第21-22页 |
| 3.1.2 软件开发环境简介 | 第22-23页 |
| 3.1.3 TMS320F2812资源介绍 | 第23-26页 |
| 3.2 系统硬件电路设计 | 第26-37页 |
| 3.2.1 TMS320F2812供电电路 | 第26-28页 |
| 3.2.2 时钟与复位 | 第28-30页 |
| 3.2.3 JTAG接口与启动选择 | 第30-31页 |
| 3.2.4 外部SRAM扩展 | 第31-32页 |
| 3.2.5 系统主电路单元 | 第32-33页 |
| 3.2.6 测温电路 | 第33-34页 |
| 3.2.7 微处理器电路 | 第34-35页 |
| 3.2.8 DSP和触摸屏通信 | 第35-37页 |
| 3.3 系统软件设计 | 第37-41页 |
| 3.3.1 DSP系统资源分配 | 第37-38页 |
| 3.3.2 程序主体结构 | 第38-40页 |
| 3.3.3 A/D采样模块 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 三温区晶体生长炉建模 | 第42-56页 |
| 4.1 三温区晶体生长炉模型机理分析 | 第42-51页 |
| 4.1.1 传热学基本原理 | 第42-45页 |
| 4.1.2 模型参数 | 第45-46页 |
| 4.1.3 模型描述 | 第46-49页 |
| 4.1.4 模型简化 | 第49-51页 |
| 4.2 模型结构的建立 | 第51-53页 |
| 4.3 模型参数辨识 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 晶体生长炉系统PID解耦控制 | 第56-70页 |
| 5.1 解耦控制原理 | 第56-57页 |
| 5.2 多变量解耦控制常见方法 | 第57-59页 |
| 5.3 PID对角线解耦控制 | 第59-61页 |
| 5.4 神经元网络PID多变量解耦控制器 | 第61-69页 |
| 5.4.1 控制系统结构 | 第62-63页 |
| 5.4.2 解耦控制算法 | 第63-65页 |
| 5.4.3 系统仿真结果 | 第65-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第6章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
