薄膜热流计的研制及模拟仿真研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11页 |
| 1.2 热流测试技术的发展 | 第11-16页 |
| 1.3 选题依据与研究内容 | 第16-18页 |
| 1.3.1 选题依据 | 第16页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 热流计测量原理 | 第18-26页 |
| 2.1 组成温差热电堆的热电偶 | 第18-19页 |
| 2.2 热电堆原理 | 第19-20页 |
| 2.3 热电堆式热流计的工作原理 | 第20-22页 |
| 2.4 薄膜热流计的设计思路 | 第22-23页 |
| 2.5 热流计的误差分析 | 第23-25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 热流计的数值分析及仿真 | 第26-32页 |
| 3.1 热阻层厚度仿真 | 第26-29页 |
| 3.2 热阻层大小仿真 | 第29-31页 |
| 3.3 本章小节 | 第31-32页 |
| 第四章 薄膜热流计的制作 | 第32-49页 |
| 4.1 薄膜热流计的制备工艺 | 第32-35页 |
| 4.2 薄膜结构性能的表征方法 | 第35-36页 |
| 4.3 热电堆薄膜的制备及表征 | 第36-41页 |
| 4.3.1 溅射功率对Pt薄膜性能的影响 | 第37-38页 |
| 4.3.2 溅射功率对PtRh薄膜性能的影响 | 第38-40页 |
| 4.3.3 薄膜热电偶的标定 | 第40-41页 |
| 4.4 热阻层薄膜的制备及表征 | 第41-47页 |
| 4.4.1 SiO_2热阻层的制备以及性能表征 | 第41-43页 |
| 4.4.2 YSZ热阻层的制备以及性能表征 | 第43-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 热流计的标定 | 第49-62页 |
| 5.1 标定系统的介绍 | 第49页 |
| 5.2 标定系统的搭建 | 第49-51页 |
| 5.3 标定结果和分析 | 第51-59页 |
| 5.3.1 不同厚度热阻层的热流计的标定 | 第52-55页 |
| 5.3.2 不同热电偶数量的热流计的标定 | 第55-56页 |
| 5.3.3 不同热阻层热流计的输出比较 | 第56-57页 |
| 5.3.4 不同温度输出信号波动分析 | 第57-59页 |
| 5.4 误差分析 | 第59-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第六章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 结论 | 第62页 |
| 6.2 展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第68-69页 |
