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螺旋波等离子体源实验及特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-22页
   ·等离子体基本原理简述第8-10页
   ·常用等离子体源简述第10-12页
   ·常用等离子体参数诊断方法和手段第12页
   ·磁场与等离子体第12-15页
   ·本课题的研究内容第15-20页
   ·本论文研究背景和意义第20-22页
第二章 螺旋波等离子体装置的设计第22-27页
   ·装置几何参数和参数测量第22-23页
   ·磁场系统第23-24页
   ·射频天线第24-27页
第三章 等离子体诊断及基本数据分析方法第27-42页
   ·朗缪尔静电探针原理及其数据处理方法第27-36页
   ·原子发射光谱原理及其数据处理方法第36-40页
   ·其他诊断手段(示波器与 ICCD)第40-42页
第四章 实验结果及分析第42-56页
   ·放电参数的影响第42-51页
   ·放电模式转换及其理论分析第51-56页
第五章 结论第56-58页
   ·结论第56页
   ·论文创新之处第56-57页
   ·进一步工作展望第57-58页
致谢第58-59页
参考文献第59-62页
硕士期间发表的论文第62页

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