摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-8页 |
第一章 绪论 | 第8-22页 |
·等离子体基本原理简述 | 第8-10页 |
·常用等离子体源简述 | 第10-12页 |
·常用等离子体参数诊断方法和手段 | 第12页 |
·磁场与等离子体 | 第12-15页 |
·本课题的研究内容 | 第15-20页 |
·本论文研究背景和意义 | 第20-22页 |
第二章 螺旋波等离子体装置的设计 | 第22-27页 |
·装置几何参数和参数测量 | 第22-23页 |
·磁场系统 | 第23-24页 |
·射频天线 | 第24-27页 |
第三章 等离子体诊断及基本数据分析方法 | 第27-42页 |
·朗缪尔静电探针原理及其数据处理方法 | 第27-36页 |
·原子发射光谱原理及其数据处理方法 | 第36-40页 |
·其他诊断手段(示波器与 ICCD) | 第40-42页 |
第四章 实验结果及分析 | 第42-56页 |
·放电参数的影响 | 第42-51页 |
·放电模式转换及其理论分析 | 第51-56页 |
第五章 结论 | 第56-58页 |
·结论 | 第56页 |
·论文创新之处 | 第56-57页 |
·进一步工作展望 | 第57-58页 |
致谢 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-62页 |
硕士期间发表的论文 | 第62页 |