| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·等离子体基本原理简述 | 第8-10页 |
| ·常用等离子体源简述 | 第10-12页 |
| ·常用等离子体参数诊断方法和手段 | 第12页 |
| ·磁场与等离子体 | 第12-15页 |
| ·本课题的研究内容 | 第15-20页 |
| ·本论文研究背景和意义 | 第20-22页 |
| 第二章 螺旋波等离子体装置的设计 | 第22-27页 |
| ·装置几何参数和参数测量 | 第22-23页 |
| ·磁场系统 | 第23-24页 |
| ·射频天线 | 第24-27页 |
| 第三章 等离子体诊断及基本数据分析方法 | 第27-42页 |
| ·朗缪尔静电探针原理及其数据处理方法 | 第27-36页 |
| ·原子发射光谱原理及其数据处理方法 | 第36-40页 |
| ·其他诊断手段(示波器与 ICCD) | 第40-42页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第42-56页 |
| ·放电参数的影响 | 第42-51页 |
| ·放电模式转换及其理论分析 | 第51-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第56页 |
| ·论文创新之处 | 第56-57页 |
| ·进一步工作展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第62页 |