采用AFM加工大范围微纳米聚合物结构的实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题背景及目的和意义 | 第8页 |
| ·基于AFM的微纳结构加工技术的研究现状 | 第8-13页 |
| ·基于AFM的小范围微纳结构加工技术的研究现状 | 第8-11页 |
| ·基于AFM的大范围微纳加工技术的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 采用AFM加工聚合物微纳结构实验研究 | 第14-28页 |
| ·概述 | 第14页 |
| ·实验装置与步骤 | 第14-15页 |
| ·实验装置 | 第14-15页 |
| ·实验样品 | 第15页 |
| ·实验步骤 | 第15页 |
| ·PMMA微纳结构的加工 | 第15-20页 |
| ·PMMA方坑结构的加工 | 第16-18页 |
| ·PMMA纳米线结构的加工 | 第18-20页 |
| ·PC微纳结构的加工 | 第20-27页 |
| ·PC方坑结构的加工 | 第20-25页 |
| ·PC线结构加工工艺实验 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 AFM和工作台联合加工软件研制 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·串口通讯原理及编程 | 第28-30页 |
| ·工作台独立控制 | 第30-32页 |
| ·AFM自身程序的开发 | 第32-34页 |
| ·工作台与AFM联合控制软件 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 大范围微纳结构加工一致性的实验研究 | 第38-54页 |
| ·工作台振动的影响 | 第38-39页 |
| ·针尖形貌对纳米加工过程的影响 | 第39-45页 |
| ·针尖的磨损形式及针尖半径测量原理 | 第39-40页 |
| ·纳米加工过程中的针尖磨损实验研究 | 第40-43页 |
| ·纳米加工过程中的针尖粘结实验研究 | 第43-45页 |
| ·大范围加工微纳结构结果分析 | 第45-47页 |
| ·方坑阵列加工实验 | 第45-46页 |
| ·线阵列加工实验 | 第46-47页 |
| ·提高加工结构一致性的方法 | 第47-48页 |
| ·一致性好的毫米尺度微纳阵列结构加工实验 | 第48-53页 |
| ·大范围方坑阵列加工结果 | 第48-49页 |
| ·大范围线阵列加工结果 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
