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Nd/NdFeB/α-Fe多层复合薄膜的制备工艺及性能研究

中文摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-27页
   ·永磁材料的发展历程第9-10页
   ·纳米晶复合永磁材料的磁学理论第10-19页
     ·永磁材料的基本磁学参量第10-14页
     ·纳米晶双相NdFeB永磁材料的磁学理论第14-19页
   ·纳米晶复合永磁材料的制备方法第19-22页
     ·机械合金化法第19-20页
     ·熔体快淬法第20-21页
     ·HDDR法第21页
     ·磁控溅射法第21-22页
   ·纳米晶双相永磁材料的研究进展第22-23页
   ·改善纳米晶双相永磁材料性能的方法第23-24页
     ·添加元素第23-24页
     ·改进热处理工艺第24页
   ·课题意义及研究内容第24-27页
     ·课题的研究意义第24-25页
     ·研究内容第25-27页
第二章 薄膜的制备及检测第27-35页
   ·实验材料及薄膜的制备第27-30页
     ·实验材料第27页
     ·薄膜的制备第27-30页
   ·薄膜的检测方法第30-35页
     ·薄膜晶粒度的检测第30-31页
     ·薄膜表面形貌的检测第31-32页
     ·薄膜组织结构的检测第32-33页
     ·薄膜磁性能的检测第33-35页
第三章 [NdFeB/α-Fe]n薄膜的微观结构和磁性能第35-47页
   ·[NdFeB/α-Fe]n薄膜的制备第35-38页
     ·溅射速率的确定第35-36页
     ·薄膜的制备方案第36-38页
   ·[NdFeB/α-Fe]n薄膜的表面形貌第38-39页
   ·[NdFeB/α-Fe]n薄膜的组织结构和磁性能第39-44页
     ·α-Fe层对薄膜组织结构的影响第39-40页
     ·α-Fe层对薄膜磁性能的影响第40-44页
   ·[NdFeB/α-Fe]n薄膜的各向异性分析第44-45页
   ·小结第45-47页
第四章 Nd/NdFeB[NdFeB/α-Fe]n/NdFeB/Nd薄膜的微观结构和磁性能第47-59页
   ·引言第47页
   ·Nd/NdFeB[NdFeB/α-Fe]n/NdFeB/Nd薄膜的制备第47-48页
   ·单层NdFeB与多层Nd/NdFeB/Nd薄膜的磁性能对比第48-52页
     ·多层Nd/NdFeB/Nd薄膜的断面分析第48-49页
     ·薄膜的组织结构对比第49-50页
     ·薄膜的磁性能对比第50-52页
   ·Nd/NdFeB[NdFeB/α-Fe]n/NdFeB/Nd薄膜结构和磁性能第52-57页
     ·薄膜的表面形貌第52页
     ·薄膜的组织结构第52-54页
     ·薄膜的磁性能第54-57页
   ·小结第57-59页
第五章 结论第59-61页
参考文献第61-68页
致谢第68-70页
攻读学位期间发表的学术论文目录第70-71页

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