可调谐半导体激光器相移干涉硅球直径测量
| 摘要 | 第1-4页 |
| abstract | 第4-9页 |
| 主要符号对照表 | 第9-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-30页 |
| ·国际单位制基本单位及千克重新定义 | 第10-16页 |
| ·国际单位制基本单位 | 第10-13页 |
| ·千克重新定义的方案 | 第13-16页 |
| ·阿伏伽德罗常数测量的研究现状 | 第16-23页 |
| ·X射线晶体密度法 | 第16-18页 |
| ·阿伏伽德罗常数测量准确度及其限制因素 | 第18-19页 |
| ·硅球直径测量的研究现状 | 第19-23页 |
| ·激光绝对距离测量方法的研究现状 | 第23-28页 |
| ·飞行时间法绝对距离测量 | 第23-25页 |
| ·激光干涉绝对距离测量 | 第25-26页 |
| ·基于光频梳的绝对距离测量 | 第26-28页 |
| ·论文研究目的和内容 | 第28-30页 |
| ·论文研究目的 | 第28-29页 |
| ·各章节内容 | 第29-30页 |
| 第2章 硅球直径干涉仪的设计与建立 | 第30-49页 |
| ·硅球直径测量方案 | 第30-31页 |
| ·硅球与标准具 | 第31-34页 |
| ·硅球的参数 | 第31-32页 |
| ·标准具的参数 | 第32-34页 |
| ·硅球与标准具的位置关系 | 第34页 |
| ·硅球直径干涉仪光路系统 | 第34-48页 |
| ·光路系统构成 | 第35-36页 |
| ·机械机构设计 | 第36-38页 |
| ·光路调整流程 | 第38-42页 |
| ·光路系统的横向分辨率 | 第42-44页 |
| ·光路对准误差的测量与分析 | 第44-46页 |
| ·空间光滤波与高斯光束分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 可调谐激光器的频率控制系统 | 第49-80页 |
| ·可调谐激光器的频率控制方案 | 第49-55页 |
| ·可调谐激光器的参数 | 第49-51页 |
| ·激光频率控制系统的一般原理 | 第51-52页 |
| ·激光频率控制系统的典型方案 | 第52-54页 |
| ·适用于硅球直径测量的激光频率控制系统 | 第54-55页 |
| ·基于光频梳的激光频率控制系统 | 第55-67页 |
| ·系统原理 | 第55-58页 |
| ·系统硬件构成 | 第58-62页 |
| ·系统软件设计 | 第62-64页 |
| ·激光频率稳定度分析 | 第64-66页 |
| ·激光频率调谐性能分析 | 第66-67页 |
| ·基于法布里-珀罗腔的激光频率控制系统 | 第67-79页 |
| ·基于PDH技术的激光频率控制原理 | 第67-71页 |
| ·系统硬件构成 | 第71-73页 |
| ·激光频率控制实验 | 第73-75页 |
| ·模式匹配分析 | 第75-77页 |
| ·温度对激光频率稳定度的影响 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第4章 相移干涉算法与硅球直径小数测量 | 第80-95页 |
| ·干涉条纹的分析方法 | 第80-86页 |
| ·相移算法的一般分析 | 第80-83页 |
| ·任意相等步长相移算法 | 第83-84页 |
| ·傅里叶变换干涉相位解算 | 第84-85页 |
| ·相位解算方法的比较 | 第85-86页 |
| ·硅球直径小数测量 | 第86-94页 |
| ·硅球直径小数测量流程 | 第86页 |
| ·干涉图像采集与预处理 | 第86-90页 |
| ·基于Carré 算法的相位计算与解包裹 | 第90-91页 |
| ·基于Zernike多项式的相位拟合与面型分析 | 第91-92页 |
| ·硅球直径测量点的像素选取 | 第92-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 激光频率扫描硅球绝对直径测量 | 第95-105页 |
| ·激光干涉测量硅球绝对直径的困难 | 第95-96页 |
| ·激光频率扫描绝对距离测量 | 第96-103页 |
| ·激光频率扫描绝对距离测量原理 | 第96-99页 |
| ·激光频率扫描绝对距离测量实验 | 第99-103页 |
| ·硅球绝对直径测量流程 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第6章 硅球直径测量结果与不确定度评估 | 第105-112页 |
| ·硅球直径测量实验环境 | 第105-106页 |
| ·硅球绝对直径测量结果 | 第106-109页 |
| ·硅球直径测量不确定度评估 | 第109-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第7章 总结与展望 | 第112-116页 |
| ·论文工作总结 | 第112-114页 |
| ·主要创新点 | 第114页 |
| ·进一步研究内容 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 致谢 | 第123-125页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第125-126页 |
