面向PVA薄膜模具制造的滚型纳米压印光刻机的研究与开发
| 物理量名称及主要符号表 | 第1-11页 |
| 摘要 | 第11-12页 |
| Abstract | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第13-16页 |
| ·纳米压印光刻技术的国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·滚型纳米压印技术的研究进展 | 第18-23页 |
| ·采用滚轴模具的滚对滚纳米压印 | 第19-21页 |
| ·采用平板模具的滚对平面型纳米压印 | 第21-22页 |
| ·其他滚型纳米压印工艺 | 第22-23页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·本文主要的研究内容 | 第23-25页 |
| ·滚型纳米压印光刻机的总体设计及三维建模 | 第23页 |
| ·滚型纳米压印模具变形机理的研究 | 第23页 |
| ·PVA 水溶胶的涂布仿真 | 第23-24页 |
| ·薄膜张力控制 | 第24-25页 |
| 第2章 滚型纳米压印光刻机的总体设计及三维建模 | 第25-42页 |
| ·PVA 薄膜模具制造的方案设计 | 第25-27页 |
| ·滚型纳米光刻机总体方案分析 | 第27-28页 |
| ·性能指标 | 第27页 |
| ·工艺范围 | 第27-28页 |
| ·设备精度 | 第28页 |
| ·生产率和自动化 | 第28页 |
| ·光刻机主要功能模块 | 第28-41页 |
| ·压印模块的模具辊 | 第28-29页 |
| ·压印辊模具制造方法 | 第29-30页 |
| ·压印模块的施压机构 | 第30-32页 |
| ·涂布模块 | 第32-34页 |
| ·PVA 干燥成膜 | 第34-38页 |
| ·机身的设计 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 滚型纳米压印模具变形机理的研究 | 第42-54页 |
| ·理论模型 | 第42-46页 |
| ·硬质接触模型 | 第44页 |
| ·柔性接触模型 | 第44-46页 |
| ·数值模拟 | 第46-50页 |
| ·柔性接触数值模拟 | 第46-49页 |
| ·硬质接触和柔性接触对比 | 第49-50页 |
| ·柔性接触模具变形规律 | 第50-52页 |
| ·压印力和特征结构深宽比对模具变形的影响 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 狭缝涂布理论分析与数值模拟 | 第54-62页 |
| ·聚乙烯醇简介 | 第54页 |
| ·理论模型 | 第54-57页 |
| ·数值仿真 | 第57-59页 |
| ·VOF 模型简介 | 第57-58页 |
| ·几何模型建立 | 第58页 |
| ·边界条件及加载求解说明 | 第58-59页 |
| ·仿真结果及分析 | 第59-61页 |
| ·不同速度不同时间点所对应的流体界面 | 第59-60页 |
| ·不同速度下的流场压力分布 | 第60页 |
| ·不同流速下流线图 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 柔性薄膜卷绕张力控制及 PID 仿真 | 第62-81页 |
| ·张力控制系统分类 | 第62-63页 |
| ·压印系统方案设计 | 第63-74页 |
| ·放卷辊等效转动惯量计算 | 第65-66页 |
| ·伺服电机的选择 | 第66-70页 |
| ·关于连轴器的选用 | 第70-71页 |
| ·减速器的选用 | 第71页 |
| ·磁粉制动器的结构与工作原理 | 第71-73页 |
| ·张力检测器 | 第73页 |
| ·张力控制器的选用 | 第73-74页 |
| ·收卷张力控制 | 第74-76页 |
| ·放卷段简化非线性模型 | 第76-79页 |
| ·放卷段近似线性模型 | 第79页 |
| ·MATLAB 仿真 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第6章 结论与展望 | 第81-84页 |
| ·结论和创新点 | 第81-82页 |
| ·未来的研究 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
