大口径平面检测的子孔径拼接算法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·本课题研究的背景及意义 | 第8页 |
| ·目前大口径光学元件的主要检测技术 | 第8-11页 |
| ·子孔径拼接法 | 第8-9页 |
| ·阴影星点法 | 第9-10页 |
| ·瑞奇-康芒法 | 第10-11页 |
| ·子孔径拼接检测技术的国内外现状 | 第11-13页 |
| ·国外发展历史及现状 | 第11-12页 |
| ·国内发展历史及现状 | 第12-13页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第13-14页 |
| 2 子孔径拼接干涉检测基本原理 | 第14-27页 |
| ·子孔径拼接模式分类 | 第14-17页 |
| ·子孔径按形状划分 | 第14-16页 |
| ·子孔径排列模式划分 | 第16-17页 |
| ·子孔径拼接基本原理 | 第17-22页 |
| ·两两拼接原理 | 第17-19页 |
| ·局部均化误差原理 | 第19页 |
| ·全局拼接原理 | 第19-22页 |
| ·子孔径坐标矩阵转化 | 第22-23页 |
| ·基于图像配准技术的辅助定位方法 | 第23-26页 |
| ·图像配准 | 第23-24页 |
| ·图像融合技术 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 算法验证 | 第27-32页 |
| ·平面拼接模拟实验 | 第27-28页 |
| ·两两拼接模拟实验 | 第28-29页 |
| ·局部均化误差拼接模拟实验 | 第29-30页 |
| ·全局优化拼接模拟实验 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 子孔径拼接实验研究 | 第32-53页 |
| ·光学测量平台机构分析 | 第32-35页 |
| ·干涉检测平台的局部改造 | 第35-37页 |
| ·ZYGO干涉仪基本原理 | 第35-36页 |
| ·检测平台的局部改造 | 第36-37页 |
| ·ZYGO干涉仪拼接软件系统介绍 | 第37-38页 |
| ·干涉仪Metropro软件介绍 | 第37-38页 |
| ·利用Fiducial方法标定投影畸变 | 第38页 |
| ·150mm平面拼接测量实验 | 第38-43页 |
| ·基于图像轮廓的定位方法 | 第38-40页 |
| ·拼接实验 | 第40-43页 |
| ·拼接结果分析 | 第43页 |
| ·310mm平面镜拼接实验 | 第43-48页 |
| ·基于标记点的子孔径定位 | 第44-46页 |
| ·拼接实验研究及误差分析 | 第46-48页 |
| ·子孔径拼接干涉测量的误差分析 | 第48-52页 |
| ·测量误差分析 | 第48-50页 |
| ·拼接误差分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 系统误差的标定及修正 | 第53-62页 |
| ·三平面互检法的基本原理 | 第53-54页 |
| ·改进的三平面互检法 | 第54-58页 |
| ·平面具有的特性 | 第54-56页 |
| ·改进的三面互检法原理 | 第56-58页 |
| ·拼接实验 | 第58-61页 |
| ·带有系统误差的直接拼接 | 第59-60页 |
| ·系统误差的修正 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 结论与展望 | 第62-64页 |
| ·结论 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
