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不同氧化插层对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响

中文摘要第1-8页
Abstract第8-10页
第一章 绪论第10-16页
   ·磁电阻效应第10-12页
     ·正常磁电阻效应(OMR)第10页
     ·各向异性磁电阻效应(AMR)第10-11页
     ·巨磁电阻效应(GMR)第11页
     ·隧道磁电阻效应(TMR)第11-12页
   ·各向异性磁电阻的研究意义第12-13页
   ·国内外研究现状第13-14页
   ·研究目的和主要研究内容第14-16页
     ·研究目的第14页
     ·主要研究内容第14-16页
第二章 薄膜材料的制备与分析测试方法第16-28页
   ·薄膜材料的制备第16-22页
     ·溅射镀膜第16页
     ·磁控溅射第16-20页
       ·直流(DC)磁控溅射第17页
       ·射频(RF)磁控溅射第17-18页
       ·磁控溅射系统介绍第18-20页
     ·薄膜制备过程第20-22页
       ·基片的洗涤第20-21页
       ·装靶第21页
       ·计算溅射速率(定标)第21-22页
       ·镀膜第22页
   ·薄膜材料的分析测试方法第22-25页
     ·各向异性磁电阻的测量第22-24页
     ·X 射线衍射(XRD)测试第24-25页
     ·原子力显微镜(AFM)第25页
   ·实验设计方案第25-28页
第三章 坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的研究第28-46页
   ·NiO 插层对超薄坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第28-35页
     ·引言第28页
     ·实验第28-29页
     ·NiO 插层厚度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第29-30页
     ·基片温度对插入 NiO 层的坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第30-32页
     ·基片温度对插入 NiO 层的坡莫合金薄膜结构的影响第32-34页
     ·结论第34-35页
   ·NiFeNb 缓冲层和 NiO 插层对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第35-46页
     ·引言第35页
     ·实验方法第35-36页
     ·缓冲层(Ni81Fe19)1-xNbx中 Nb 原子的百分含量 x 对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第36-37页
     ·缓冲层厚度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第37-38页
     ·NiO 层厚度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第38-40页
     ·基片温度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响第40-42页
     ·基片温度对坡莫合金薄膜磁滞回线的影响第42-43页
     ·基片温度对薄膜结构的影响第43-45页
     ·结论第45-46页
第四章 总结第46-48页
   ·本论文已完成的工作第46-47页
   ·今后工作的建议第47-48页
参考文献第48-54页
攻读硕士学位期间发表的文章第54-56页
致谢第56页

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