基于碳纳米管吸收层的热释电传感器设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第12-15页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第15页 |
| ·本文的技术背景及整体安排 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 热释电红外探测器概述 | 第17-25页 |
| ·热释电材料 | 第17-18页 |
| ·钽酸锂晶体结构 | 第18页 |
| ·热释电效应 | 第18-19页 |
| ·热释电红外探测器工作原理及特性 | 第19-21页 |
| ·红外辐射理论 | 第21-22页 |
| ·热释电红外探测器的组成 | 第22-23页 |
| ·热释红外电探测器的设计关键 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 晶体式热释电探测器的制备 | 第25-41页 |
| ·LT 晶体制作工艺设计综述 | 第25-26页 |
| ·工艺流程设计 | 第25-26页 |
| ·LT 晶体的减薄和抛光 | 第26-30页 |
| ·实验方法介绍 | 第26-27页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·研磨液和抛光液 | 第28页 |
| ·研磨盘和抛光垫 | 第28-30页 |
| ·晶体的减薄 | 第30-31页 |
| ·晶体的抛光 | 第31-34页 |
| ·台阶仪 | 第31-32页 |
| ·抛光液对抛光效果的影响 | 第32-33页 |
| ·抛光垫对抛光效果的影响 | 第33-34页 |
| ·晶体表形貌测试 | 第34-36页 |
| ·晶体上下电极的制作 | 第36-37页 |
| ·热释电系数的测量 | 第37-39页 |
| ·减薄抛光对晶体热释电系数的影响 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 碳纳米管吸收层的制备及测试 | 第41-48页 |
| ·碳纳米管的分散 | 第41-42页 |
| ·碳纳米管吸收层的制作 | 第42-44页 |
| ·丝网印刷装置 | 第42-43页 |
| ·浆料的配置 | 第43页 |
| ·丝网印刷碳纳米管 | 第43-44页 |
| ·印刷后处理 | 第44页 |
| ·吸收层的相对光谱响应 | 第44-47页 |
| ·相对光谱响应测量方法 | 第44-45页 |
| ·测试设备介绍 | 第45页 |
| ·相对光谱响应测试结果 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 热释电探测器的性能测试 | 第48-56页 |
| ·性能测试系统 | 第48页 |
| ·信号前置放大电路设计 | 第48-49页 |
| ·信号调理电路设计 | 第49-50页 |
| ·热释电红外探测器性能测试 | 第50-53页 |
| ·探测器频率响应特性测试 | 第50-51页 |
| ·不同厚度晶体的性能测试 | 第51-52页 |
| ·不同吸收层的探测器响应测试 | 第52-53页 |
| ·封装简析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·成果总结 | 第56页 |
| ·工作展望和建议 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
