二维激光微角度测量装置及其关键技术研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第12页 |
| ·国内外相关研究进展 | 第12-18页 |
| ·光学内反射小角度测量法 | 第13-14页 |
| ·基于牛顿环的小角度测量的研究 | 第14-15页 |
| ·圆光栅测角法 | 第15-16页 |
| ·环形激光器法 | 第16-17页 |
| ·激光干涉测角法 | 第17-18页 |
| ·本文主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 二维激光微角度传感器工作原理及其关键技术 | 第20-38页 |
| ·二维激光微角度传感器测量原理 | 第20-21页 |
| ·二维激光微角度传感器光学系统 | 第21-23页 |
| ·二维激光微角度传感器关键技术研究 | 第23-37页 |
| ·光斑圆化处理技术 | 第23-27页 |
| ·光学器件整合技术 | 第27-29页 |
| ·离焦测量技术 | 第29-30页 |
| ·优化噪声处理技术 | 第30-35页 |
| ·二维测量解耦技术 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 二维微角度传感器性能测试及分析 | 第38-57页 |
| ·实验设备 | 第38-40页 |
| ·实验方案设计 | 第40-41页 |
| ·测量系统稳定性测试 | 第41-45页 |
| ·电源稳定性测试 | 第41-42页 |
| ·信号处理电路稳定性测试 | 第42-45页 |
| ·传感器性能测试及角度测量实验 | 第45-55页 |
| ·角度传感器稳定性及漂移测试 | 第45-46页 |
| ·量程及线性度 | 第46-49页 |
| ·分辨率测试 | 第49-51页 |
| ·重复性误差测试 | 第51-53页 |
| ·对照试验 | 第53-55页 |
| ·微角度测量实验误差来源分析 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 二维激光微角度测量系统 | 第57-76页 |
| ·二维微角度解耦测量系统硬件研制 | 第57-69页 |
| ·四象限光电探测器特性及工作模式 | 第57-59页 |
| ·前置放大电路设计 | 第59-60页 |
| ·主放大电路及滤波电路 | 第60-61页 |
| ·DSP选型及通用外围电路设计 | 第61-69页 |
| ·二维微角度测量系统软件设计 | 第69-73页 |
| ·软件开发环境简介 | 第69页 |
| ·软件总体设计 | 第69-71页 |
| ·系统初始化模块 | 第71页 |
| ·A/D采样模块 | 第71-73页 |
| ·通信模块 | 第73页 |
| ·二维微角度测量仪的研制 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第5章 结论及展望 | 第76-78页 |
| ·结论 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-79页 |
