基于双压电驱动宏微结合的纳米定位台研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·宏微结合纳米定位台的国内外研究现状 | 第11-20页 |
| ·宏微结合纳米定位台的国外研究现状 | 第11-14页 |
| ·宏微结合纳米定位台的国内研究现状 | 第14-20页 |
| ·论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 宏定位系统方案研究 | 第22-31页 |
| ·宏动台方案设计 | 第22-23页 |
| ·宏动台结构组成 | 第23-28页 |
| ·压电马达 | 第23-25页 |
| ·光栅测量系统 | 第25-26页 |
| ·交叉滚子导轨 | 第26-27页 |
| ·宏动台的控制 | 第27-28页 |
| ·宏微结合定位系统 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微定位平台方案研究 | 第31-37页 |
| ·微定位系统组成 | 第31页 |
| ·微定位平台驱动器 | 第31-33页 |
| ·导向支撑机构 | 第33-34页 |
| ·检测装置 | 第34-36页 |
| ·微定位系统组成归纳 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 压电陶瓷性能分析及控制 | 第37-52页 |
| ·压电陶瓷驱动器基本理论 | 第37-41页 |
| ·压电陶瓷驱动机理 | 第37-38页 |
| ·压电陶瓷驱动器的驱动位移 | 第38-39页 |
| ·压电陶瓷驱动器的驱动力 | 第39-40页 |
| ·压电陶瓷驱动器的力-位移关系 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性 | 第41-47页 |
| ·迟滞特性 | 第41-44页 |
| ·蠕变特性 | 第44-47页 |
| ·阶跃时间 | 第47页 |
| ·压电陶瓷迟滞前馈控制算法研究 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 二维微动定位台设计与分析 | 第52-65页 |
| ·柔性铰链 | 第52-57页 |
| ·柔性铰链材料 | 第52-53页 |
| ·柔性铰链连杆机构 | 第53页 |
| ·柔性铰链的设计理论 | 第53-55页 |
| ·柔性铰链的分析计算 | 第55-57页 |
| ·微动台结构设计 | 第57-58页 |
| ·设计要求 | 第57-58页 |
| ·微动台结构 | 第58页 |
| ·微动台的有限元分析 | 第58-64页 |
| ·应力分析 | 第59-60页 |
| ·输出位移分析 | 第60-62页 |
| ·刚度分析 | 第62-63页 |
| ·共振频率分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 微定位系统搭建及实验研究 | 第65-76页 |
| ·微定位系统搭建 | 第65-66页 |
| ·微定位系统的组成 | 第65页 |
| ·系统安装 | 第65-66页 |
| ·微定位系统实验研究 | 第66-75页 |
| ·X 方向位移特性 | 第66-70页 |
| ·Y 方向位移特性 | 第70-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
