多晶硅还原炉流场、温度场数值模拟及能耗分析
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-8页 |
1 绪论 | 第8-15页 |
·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
·多晶硅产业现状 | 第9-13页 |
·本课题研究内容及方案设计 | 第13-15页 |
2 还原炉结构及实际工作参数 | 第15-27页 |
·还原炉体积对整体能耗的影响 | 第15-17页 |
·还原炉工作原理及结构 | 第17-19页 |
·还原炉实际工作参数 | 第19-27页 |
3 还原炉模拟方法及方案设计 | 第27-46页 |
·数值模拟软硬件环境 | 第27页 |
·模型结构及生产条件简化 | 第27-29页 |
·网格划分 | 第29-34页 |
·湍流模型选取 | 第34-37页 |
·辐射传热模型选择 | 第37-38页 |
·边界条件设置 | 第38-41页 |
·材料属性设置 | 第41-44页 |
·模拟方案 | 第44-46页 |
4 数值模拟结果及分析 | 第46-109页 |
·数值模拟结果与实际工况条件对比 | 第46-49页 |
·不同流速对还原炉内部流场、温度场影响 | 第49-75页 |
·不同喷口条件对还原炉内流场、温度场影响 | 第75-92页 |
·不同硅棒直径对还原炉内流场、温度场影响 | 第92-109页 |
5 结论与展望 | 第109-111页 |
·结论 | 第109-110页 |
·展望 | 第110-111页 |
致谢 | 第111-112页 |
参考文献 | 第112-115页 |