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多晶硅还原炉流场、温度场数值模拟及能耗分析

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1 绪论第8-15页
   ·课题研究背景及意义第8-9页
   ·多晶硅产业现状第9-13页
   ·本课题研究内容及方案设计第13-15页
2 还原炉结构及实际工作参数第15-27页
   ·还原炉体积对整体能耗的影响第15-17页
   ·还原炉工作原理及结构第17-19页
   ·还原炉实际工作参数第19-27页
3 还原炉模拟方法及方案设计第27-46页
   ·数值模拟软硬件环境第27页
   ·模型结构及生产条件简化第27-29页
   ·网格划分第29-34页
   ·湍流模型选取第34-37页
   ·辐射传热模型选择第37-38页
   ·边界条件设置第38-41页
   ·材料属性设置第41-44页
   ·模拟方案第44-46页
4 数值模拟结果及分析第46-109页
   ·数值模拟结果与实际工况条件对比第46-49页
   ·不同流速对还原炉内部流场、温度场影响第49-75页
   ·不同喷口条件对还原炉内流场、温度场影响第75-92页
   ·不同硅棒直径对还原炉内流场、温度场影响第92-109页
5 结论与展望第109-111页
   ·结论第109-110页
   ·展望第110-111页
致谢第111-112页
参考文献第112-115页

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