| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·非制冷红外探测器的分类 | 第11页 |
| ·热释电红外探测器 | 第11-17页 |
| ·热释电红外探测器原理 | 第11-14页 |
| ·热释电红外探测器研究现状 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜UFPA | 第16-17页 |
| ·本文研究的主要内容及意义 | 第17-19页 |
| 第二章 BST薄膜的磁控溅射制备工艺及其电学性能表征 | 第19-34页 |
| ·引言 | 第19-21页 |
| ·工作气压对BST薄膜微结构和电性能的影响 | 第21-25页 |
| ·氧氩比对BST薄膜微结构和电性能的影响 | 第25-29页 |
| ·衬底温度对BST薄膜微结构和电性能的影响 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 铁电薄膜红外探测器阵列的微加工工艺研究 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·上下电极和吸收层的微图形化工艺 | 第34-38页 |
| ·剥离胶光刻工艺 | 第35-37页 |
| ·上下电极和吸收层的剥离 | 第37-38页 |
| ·BST薄膜的微图形化工艺 | 第38-45页 |
| ·AZ5214E正胶光刻工艺 | 第39-40页 |
| ·BST薄膜的湿法刻蚀 | 第40-41页 |
| ·刻蚀对BST薄膜微结构和电性能的影响 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 BST铁电薄膜红外探测器阵列的制备及其电学性能表征 | 第46-53页 |
| ·铁电薄膜红外探测器阵列的设计 | 第46-49页 |
| ·16×16元铁电薄膜红外探测器阵列的制备 | 第49-51页 |
| ·铁电薄膜红外探测器阵列的电学性能表征 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 全文总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |