多表面干涉波面复原技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第11-13页 |
| ·课题研究现状 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第14-15页 |
| 2 波长移相干涉技术 | 第15-27页 |
| ·移相干涉技术 | 第15-20页 |
| ·移相干涉技术的基本原理 | 第15-19页 |
| ·常见的移相方法 | 第19页 |
| ·移相干涉术的应用 | 第19-20页 |
| ·波长移相技术 | 第20-26页 |
| ·波长移相技术的基本原理 | 第20-22页 |
| ·三步移相法和四步移相法 | 第22-24页 |
| ·四步平均法 | 第24页 |
| ·Carre方法和Carre平均法 | 第24页 |
| ·重叠四步平均法 | 第24-26页 |
| ·波长移相干涉技术应用 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 多表面干涉测量技术的研究 | 第27-40页 |
| ·基于波长移相傅里叶变换的三表面干涉的研究 | 第27-33页 |
| ·当被测平行平板为厚元件时 | 第29-32页 |
| ·当被测平行平板为薄元件时 | 第32-33页 |
| ·四表面干涉的条纹分析处理技术研究 | 第33-36页 |
| ·表面信息的提取 | 第34-35页 |
| ·光学元件均匀性的测量 | 第35-36页 |
| ·相位解包 | 第36-37页 |
| ·表征光学元件面形误差的参数 | 第37-39页 |
| ·PV值、RMS值 | 第37-38页 |
| ·波前梯度均方根GRMS | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 平行平板类光学元件测量的仿真验证与实验系统 | 第40-67页 |
| ·仿真验证 | 第40-56页 |
| ·针对不同厚度下的被测光学元件的仿真验证 | 第40-44页 |
| ·不同平行度下的仿真验证 | 第44-52页 |
| ·不同波差下的仿真验证 | 第52-56页 |
| ·实验验证 | 第56-63页 |
| ·实验装置 | 第56-57页 |
| ·实验干涉系统 | 第57-58页 |
| ·基于傅里叶变换的波长移相干涉测量实验 | 第58-63页 |
| ·误差分析 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 总结与展望 | 第67-68页 |
| ·研究工作的总结 | 第67页 |
| ·需要继续开展的工作 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 | 第72页 |
