电化学蚀刻机床及试验系统的研制
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| ·课题来源及意义 | 第12-13页 |
| ·课题来源 | 第12页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第12-13页 |
| ·电化学加工的工艺特点 | 第13-14页 |
| ·电化学蚀刻机床的国内外概况 | 第14-15页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 电化学蚀刻工艺的理论基础 | 第17-24页 |
| ·电化学蚀刻加工原理 | 第17-18页 |
| ·电化学蚀刻加工间隙中的电场 | 第18-20页 |
| ·电化学蚀刻加工间隙中的流场 | 第20-22页 |
| ·蚀刻加工工艺参数及其对装备设计的影响 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 电化学蚀刻机床的总体设计 | 第24-44页 |
| ·机床的功能要求 | 第24-25页 |
| ·电化学蚀刻机床的运动分析 | 第25-26页 |
| ·电化学蚀刻机床总体布局方案 | 第26-27页 |
| ·机床的数控化改造 | 第27-40页 |
| ·传动系统的设计 | 第28-33页 |
| ·步进电机及驱动器的选型 | 第33-39页 |
| ·控制系统硬件电路的设计 | 第39-40页 |
| ·电化学蚀刻机床的导电装置 | 第40-42页 |
| ·电化学蚀刻加工电源 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 电化学蚀刻工艺装备及电解液系统的设计 | 第44-64页 |
| ·工具阴极的设计 | 第44-51页 |
| ·工具阴极轮廓设计的数值解法 | 第45-47页 |
| ·ANSYS 软件简介 | 第47-48页 |
| ·模型的建立及有限元分析 | 第48-51页 |
| ·工具阴极结构的优化 | 第51-52页 |
| ·工具阴极的材料 | 第52页 |
| ·工具阴极夹具的结构设计 | 第52-53页 |
| ·蚀刻工作箱的设计 | 第53-56页 |
| ·蚀刻工作箱的密封设计 | 第54-55页 |
| ·蚀刻工作箱的结构设计 | 第55-56页 |
| ·电解液系统的设计 | 第56-63页 |
| ·电解液系统的总体布局 | 第57页 |
| ·电解液槽的设计 | 第57-58页 |
| ·电解液泵的选型 | 第58-61页 |
| ·电解液恒温系统 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 系统的安装调试及加工试验 | 第64-69页 |
| ·电化学蚀刻机床的安装调试 | 第64-66页 |
| ·调试阶段出现的问题及解决措施 | 第66-67页 |
| ·电化学蚀刻加工 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·全文总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第74-75页 |
