TEA CO2激光器腔长控制系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·光泵THz 与TEA CO_2 激光器 | 第8-9页 |
| ·激光器腔长控制技术国内外进展 | 第9-12页 |
| ·课题来源、目的及意义 | 第12-13页 |
| ·论文主要内容 | 第13-14页 |
| 2 TEA CO_2 激光器腔长控制系统总体设计 | 第14-24页 |
| ·腔长控制原理 | 第14-17页 |
| ·腔长控制方案比较 | 第17-19页 |
| ·系统组成及工作流程 | 第19-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 TEA CO_2 激光器腔长控制系统硬件设计 | 第24-33页 |
| ·压电陶瓷(PZT) | 第24-25页 |
| ·压电陶瓷精密位移控制器 | 第25-27页 |
| ·控制系统硬件组成 | 第27-31页 |
| ·电磁兼容设计 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 TEA CO_2 激光器腔长控制系统软件设计 | 第33-43页 |
| ·腔长控制算法 | 第33-37页 |
| ·开环控制扫描程序 | 第37-39页 |
| ·闭环控制保持程序 | 第39-40页 |
| ·软件抗干扰技术 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 实验研究 | 第43-55页 |
| ·压电陶瓷性能测试 | 第43-45页 |
| ·静态实验结果分析 | 第45-49页 |
| ·动态实验结果分析 | 第49-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录1 腔长控制实验装置 | 第61-62页 |
