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掺氢非晶硅对高功率半导体激光器腔面钝化的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·半导体激光器腔面钝化的发展第7-9页
   ·高功率半导体激光器腔面薄膜的发展第9-10页
   ·论文研究目的及内容第10-13页
第二章 激光器的工作原理及光学灾变第13-17页
   ·激光器的工作原理第13-14页
   ·激光器的光学灾变第14-17页
第三章 薄膜光学理论第17-24页
   ·薄膜光学的电磁理论基础第17-19页
   ·光学薄膜的光学特性计算方法第19-24页
第四章 高功率半导体激光器腔面膜的设计第24-37页
   ·薄膜材料的选择第24-30页
   ·腔面膜的设计第30-37页
第五章 薄膜的制备第37-46页
   ·薄膜的制备装置及其工作原理第37-42页
   ·薄膜的制备工艺第42-45页
   ·实验结果第45-46页
第六章 薄膜的测试及分析第46-53页
   ·掺氢非晶硅制备实验结果分析第46-49页
   ·在激光器上的应用测试及分析第49-51页
   ·高反射膜的附着力和致密性测试及分析第51-53页
结论第53-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-56页

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