基于相位调制的飞秒激光微纳米加工技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微细光加工技术概述 | 第8-12页 |
| ·微细光加工技术及其研究现状 | 第8-10页 |
| ·微细光成型技术的研究现状及应用 | 第10-12页 |
| ·飞秒激光双光子加工技术概述 | 第12-15页 |
| ·飞秒激光双光子反应原理 | 第13-14页 |
| ·双光子微细光成型技术 | 第14-15页 |
| ·超分辨技术概述 | 第15-16页 |
| ·超分辨技术的研究现状 | 第15-16页 |
| ·蒙特卡罗仿真算法简介 | 第16-17页 |
| ·本文的主要研究意义、内容和方法 | 第17-18页 |
| 第2章 飞秒激光超衍射计算 | 第18-34页 |
| ·飞秒激光加工超衍射的原理 | 第18-25页 |
| ·幅值调制超衍射 | 第21-23页 |
| ·相位调制超衍射 | 第23-25页 |
| ·相位调制超衍射计算 | 第25-34页 |
| ·遗传算法简介 | 第25-27页 |
| ·以最优高宽比为目标的相位调制超衍射优化计算 | 第27-31页 |
| ·以最优加工线宽为目标的相位调制超衍射优化计算 | 第31-34页 |
| 第3章 飞秒激光超衍射的实验研究 | 第34-55页 |
| ·飞秒加工实验系统 | 第34-36页 |
| ·飞秒激光双光子固化机理 | 第36-38页 |
| ·相位调制片的制作 | 第38-42页 |
| ·材料的光透过率 | 第38-39页 |
| ·圆环型相位调制片的制作 | 第39-41页 |
| ·相位调制片工艺参数测定 | 第41-42页 |
| ·相位调制片对于光强分布的调制效果测量 | 第42-43页 |
| ·基于高宽比优化相位调制的固化实验与分析 | 第43-49页 |
| ·基于线宽优化相位调制的固化实验与分析 | 第49-50页 |
| ·将相位调制应用于双光子微器件加工 | 第50-55页 |
| ·双光子微加工扫描移动平台及其控制系统 | 第50-51页 |
| ·双光子微器件加工 | 第51-55页 |
| 第4章 双光子固化过程的蒙特卡罗模拟 | 第55-63页 |
| ·飞秒激光双光子固化模型 | 第55-58页 |
| ·双光子固化模型的建立 | 第55-57页 |
| ·影响双光子固化参数的确定 | 第57-58页 |
| ·双光子固化蒙特卡罗建模 | 第58-63页 |
| ·蒙特卡罗建模计算 | 第59-61页 |
| ·蒙特卡罗算法计算结果的讨论 | 第61-63页 |
| 第5章 几种不同材料的双光子加工特性 | 第63-67页 |
| ·SU-8 材料的微器件加工 | 第63-65页 |
| ·S-3 材料的微器件加工 | 第65-67页 |
| 第6章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·论文总结 | 第67页 |
| ·前景展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第73页 |
