微电铸的工艺技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·微系统及微细加工技术 | 第9-10页 |
| ·微电铸技术及其发展 | 第10-17页 |
| ·微电铸的原理及其特点 | 第12-13页 |
| ·微电铸的研究现状及发展 | 第13-17页 |
| ·本研究的意义与主要内容 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第2章 微电铸工艺理论分析 | 第19-27页 |
| ·金属电沉积原理 | 第19-24页 |
| ·液相传质过程 | 第19-20页 |
| ·阴极极化与过电位 | 第20-22页 |
| ·金属电结晶过程 | 第22-24页 |
| ·微电铸工艺特性评价 | 第24-26页 |
| ·电铸速度与电流效率 | 第24-25页 |
| ·电铸层质量评价 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 微电铸工艺参数优化 | 第27-40页 |
| ·微电铸工艺系统的研制 | 第27-31页 |
| ·微电铸工艺参数优化实验方案 | 第31-33页 |
| ·工艺参数分析 | 第31-33页 |
| ·实验方案的拟定 | 第33页 |
| ·工艺参数优化实验 | 第33-39页 |
| ·电流参数的优化 | 第33-38页 |
| ·环境参数的调整 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 微结构的电铸成型 | 第40-55页 |
| ·微电铸母型制作方法探索 | 第40-43页 |
| ·导电基底处理 | 第40-41页 |
| ·微电铸母型制作 | 第41-43页 |
| ·SU-8 光刻胶模型制作 | 第43-50页 |
| ·SU-8单层胶光刻工艺 | 第43-49页 |
| ·SU-8 双层胶光刻工艺 | 第49-50页 |
| ·典型微结构电铸成型 | 第50-52页 |
| ·微透镜阵列的电铸成型 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 结论与展望 | 第55-57页 |
| ·工作结论 | 第55-56页 |
| ·工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第61页 |
