新型光刻胶及玻璃刻蚀应用研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 前言 | 第7-21页 |
| ·研究背景 | 第7-19页 |
| ·本论文研究的意义、目的和内容 | 第19-21页 |
| 第二章 超支化感光聚合物的合成、表征及感光性 | 第21-41页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·实验部分 | 第22-24页 |
| ·原料与试剂 | 第22页 |
| ·超支化感光聚合物合成 | 第22页 |
| ·双酚A型环氧树脂E-52改性超支化感光聚合物 | 第22页 |
| ·光刻胶的配制 | 第22-23页 |
| ·凝胶法测定感光聚合物的感光特性 | 第23页 |
| ·分析测试 | 第23-24页 |
| ·结果与讨论 | 第24-40页 |
| ·感光聚合物的合成 | 第24-27页 |
| ·性能与表征 | 第27-34页 |
| ·感光聚合物的感光特性 | 第34-38页 |
| ·成像性研究 | 第38-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 厚型光刻胶刻蚀工艺及显影机理研究 | 第41-60页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·实验部分 | 第42-47页 |
| ·原材料 | 第42页 |
| ·光刻胶的配制 | 第42页 |
| ·涂胶 | 第42页 |
| ·前烘 | 第42-43页 |
| ·暴光 | 第43页 |
| ·显影和坚膜 | 第43页 |
| ·显影液的速度测定 | 第43页 |
| ·助剂对光刻胶表干性能的影响 | 第43-44页 |
| ·匀胶速度与光刻胶胶厚的关系 | 第44-45页 |
| ·光刻胶的紫外吸收因子α及透过深度(Lp)的确定 | 第45-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-59页 |
| ·光刻胶前烘工艺条件的确定 | 第47-49页 |
| ·暴光工艺的确定 | 第49-51页 |
| ·显影工艺的确定 | 第51-54页 |
| ·后烘工艺条件的 | 第54-55页 |
| ·深宽比 | 第55-56页 |
| ·光刻胶显影机理的初步研究 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第四章 光刻胶用于玻璃刻蚀 | 第60-71页 |
| ·引言 | 第60-61页 |
| ·实验部分 | 第61页 |
| ·原料 | 第61页 |
| ·玻璃刻蚀 | 第61页 |
| ·结果与讨论 | 第61-70页 |
| ·玻璃成分分析 | 第61-63页 |
| ·玻璃清洁方式与表面粗糙度关系 | 第63-64页 |
| ·光刻胶耐蚀性研究 | 第64-65页 |
| ·玻璃蚀刻剂的选择 | 第65-69页 |
| ·玻璃刻蚀 | 第69-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 第五章 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表和完成的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
