| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 第一节 梯度功能材料的发展历史 | 第8-10页 |
| 一 概述 | 第8页 |
| 二 自然界中的梯度材料及其优越性 | 第8-9页 |
| 三 梯度功能材料概念的产生 | 第9-10页 |
| 第二节 功能梯度薄膜材料的应用 | 第10-11页 |
| 第三节 功能梯度薄膜材料的制备方法与技术 | 第11-12页 |
| 一 功能梯度薄膜的制备方法 | 第11页 |
| 二 气相沉积技术 | 第11-12页 |
| 第四节 功能梯度薄膜材料的发展前景 | 第12-13页 |
| 第五节 选题背景 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-15页 |
| 第二章 碳氢掺溴梯度薄膜的制备与沉积速率 | 第15-23页 |
| 第一节 低压等离子体化学气相沉积 | 第15-19页 |
| 一 概论 | 第15页 |
| 二 等离子体反应装置 | 第15-17页 |
| 三 等离子体聚合反应机理 | 第17-19页 |
| 第二节 碳氢掺溴薄膜的制备 | 第19-20页 |
| 一 薄膜沉积速率与氢气流量的关系 | 第19页 |
| 二 溴元素含量与溴乙烷单体流量的关系 | 第19页 |
| 三 掺溴非晶碳氢薄膜的制备 | 第19-20页 |
| 第三节 沉积速率随氢气流量(Q_(H2))的变化关系 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-23页 |
| 第三章 质量流量计的自动化控制 | 第23-38页 |
| 第一节 质量流量计工作原理和工作曲线的测量 | 第23-25页 |
| 一 工作原理 | 第23-24页 |
| 二 系统工作曲线 | 第24-25页 |
| 第二节 微机自动控制质量流量计接口电路设计 | 第25-27页 |
| 第三节 控制程序 | 第27-37页 |
| 一 窗体 | 第27-28页 |
| 二 部分源码 | 第28-36页 |
| 三 结语 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第四章 碳氢掺溴薄膜的物性检测 | 第38-54页 |
| 第一节 薄膜的傅立叶变换红外谱 | 第38-40页 |
| 一 傅立叶变换红外光谱原理简介 | 第38-39页 |
| 二 掺溴碳氢薄膜的红外分析 | 第39-40页 |
| 第二节 薄膜的紫外可见吸收光谱与光学带隙 | 第40-46页 |
| 一 紫外可见分光光度计测试原理 | 第40-41页 |
| 二 从透射谱计算光学带隙的方法 | 第41-46页 |
| 第三节 薄膜的X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第46-53页 |
| 一 X射线光电子能谱(XPS)分析基本原理 | 第46-49页 |
| 二 薄膜中溴元素含量和单体溴乙烷的关系 | 第49页 |
| 三 薄膜中氧随刻蚀时间的关系 | 第49-50页 |
| 四 梯度薄膜中的溴元素含量分析 | 第50-51页 |
| 五 梯度薄膜的成分分析 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |
| 第五章 结论 | 第54-55页 |
| 附录:攻读学位期间的论文 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57页 |