微热板式微气压传感器电热力耦合分析及测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·微型热传导气压传感器 | 第9-12页 |
| ·工作原理 | 第9-10页 |
| ·国内外研究概况 | 第10-12页 |
| ·微热板加热技术 | 第12-13页 |
| ·微热板简介 | 第12-13页 |
| ·微热板研究中的关键问题 | 第13页 |
| ·本文研究的内容 | 第13-15页 |
| 2 微热板式微气压传感器及其测试 | 第15-23页 |
| ·微热板式微气压传感器 | 第15-18页 |
| ·微热板式微气压传感器的加工工艺流程 | 第15-17页 |
| ·微热板式微气压传感器的基本特性 | 第17-18页 |
| ·微热板式微气压传感器的测试 | 第18-23页 |
| ·影响微气压传感器测试的因素 | 第18-19页 |
| ·自动测试系统的基本要求 | 第19-20页 |
| ·微热板式微气压传感器测试电路 | 第20-23页 |
| 3 微热板式微气压传感器电热力耦合分析 | 第23-38页 |
| ·传感器电热力耦合分析简介 | 第23-24页 |
| ·微气压传感器电热理论分析 | 第24-31页 |
| ·理论模型的建立 | 第24-25页 |
| ·气体热传导 | 第25-26页 |
| ·支撑桥热传导 | 第26-28页 |
| ·模型求解 | 第28-31页 |
| ·微气压传感器热力分析 | 第31-34页 |
| ·微热板力学设计 | 第31页 |
| ·微热板热力有限元模拟 | 第31-34页 |
| ·微气压传感器电热力耦合响应分析 | 第34-38页 |
| ·加热电流恒定时传感器的响应特性 | 第36页 |
| ·微热板温度恒定时传感器的响应特性 | 第36-38页 |
| 4 微热板式微气压传感器结构优化 | 第38-44页 |
| ·结构设计中的关键问题 | 第38-40页 |
| ·薄膜厚度 | 第38-39页 |
| ·气隙高度 | 第39-40页 |
| ·微热板面积和支撑桥尺寸 | 第40页 |
| ·加热电阻条 | 第40页 |
| ·微热板支撑结构优化 | 第40-44页 |
| ·微热板支撑类型 | 第40-41页 |
| ·微热板有限元分析 | 第41-44页 |
| 5 测试系统气压自动控制及传感器性能测试 | 第44-59页 |
| ·测试系统气压自动控制 | 第44-55页 |
| ·测试系统组成及工作原理 | 第44-45页 |
| ·参数在线自调整模糊控制器的设计 | 第45-49页 |
| ·参数在线自调整模糊控制器的算法实现 | 第49-51页 |
| ·控制系统建模与仿真 | 第51-53页 |
| ·真空腔气压自动控制实验 | 第53-55页 |
| ·传感器性能测试与分析 | 第55-59页 |
| ·恒电流模式测试与分析 | 第55-56页 |
| ·恒电压模式测试与分析 | 第56-57页 |
| ·恒温模式测试与分析 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
