| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| CONTENTS | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·检测方法的国内外概况 | 第13-16页 |
| ·本课题的研究工作 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 非球面轮廓测量仪及在线测量原理 | 第18-25页 |
| ·非球面方程 | 第18-19页 |
| ·非球面轮廓检测基本原理 | 第19-20页 |
| ·轮廓检测的数学模型 | 第20-22页 |
| ·轮廓仪简介 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 非球面元件超精密加工在线测量误差分析与处理方法 | 第25-40页 |
| ·非球面元件的加工质量评价 | 第25-26页 |
| ·轮廓仪测量主要系统误差理论分析 | 第26-33页 |
| ·数学模型的误差 | 第27-28页 |
| ·定位误差与坐标系不重合误差 | 第28-30页 |
| ·采样策略及测量方案误差 | 第30-32页 |
| ·软件误差 | 第32-33页 |
| ·误差数据预处理 | 第33-35页 |
| ·冗余数据的剔除 | 第33-34页 |
| ·随机误差的剔除 | 第34-35页 |
| ·单次测量粗大误差的剔除 | 第35页 |
| ·误差逆向求解拟合算法及策略 | 第35-39页 |
| ·非球面曲面最小二乘法 | 第35-36页 |
| ·优化算法设计 | 第36-38页 |
| ·模型求解 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 系统的设计及实现 | 第40-62页 |
| ·软件开发环境 | 第40页 |
| ·系统结构设计 | 第40-42页 |
| ·系统数据流分析 | 第42-43页 |
| ·系统模块设计 | 第43-61页 |
| ·曲线设计模块 | 第43-49页 |
| ·加工模块 | 第49-54页 |
| ·测量数据采集模块 | 第54-55页 |
| ·测量数据分析与处理模块 | 第55-60页 |
| ·图形显示与处理模块 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 应用实例与精度分析 | 第62-68页 |
| ·应用实例 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 全文总结 | 第68-69页 |
| 工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录A | 第76-83页 |
| 附录B | 第83-86页 |