| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·微细孔的特种加工方法及其研究状况 | 第9-13页 |
| ·微细电火花加工 | 第9-10页 |
| ·微细电化学加工 | 第10-11页 |
| ·其它加工方法 | 第11-13页 |
| ·微细阵列轴孔加工的研究状况 | 第13-15页 |
| ·课题的研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 微细阵列电极的制作工艺研究 | 第16-34页 |
| ·传统微细电极的制作工艺方法 | 第16-18页 |
| ·线电极电火花磨削 | 第16-17页 |
| ·块电极电火花磨削 | 第17-18页 |
| ·基于微细电火花线切割技术加工阵列电极工艺方案分析 | 第18-22页 |
| ·开路电压对加工效率的影响 | 第18-19页 |
| ·峰值电流对加工效率的影响 | 第19-20页 |
| ·脉冲间隔对加工效率的影响 | 第20-21页 |
| ·预置进给速度对加工效率的影响 | 第21-22页 |
| ·微细电火花线切割加工阵列电极效率的正交试验研究 | 第22-27页 |
| ·正交试验条件 | 第22页 |
| ·正交试验设计及分析 | 第22-25页 |
| ·线切割法加工的微细阵列电极实例及分析 | 第25-27页 |
| ·基于微细电火花反拷贝原理加工阵列电极工艺分析 | 第27-32页 |
| ·阵列母孔精度的影响 | 第28-29页 |
| ·加工放电能量的影响 | 第29-30页 |
| ·工作液的影响 | 第30页 |
| ·反拷贝法加工的微细阵列电极实例及分析 | 第30-32页 |
| ·两种微细阵列电极工艺方案加工效果的对比 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 微细阵列孔的电火花加工工艺研究 | 第34-44页 |
| ·电极损耗的影响因素分析 | 第34-36页 |
| ·开路电压对电极损耗的影响 | 第35页 |
| ·电容对电极损耗的影响 | 第35-36页 |
| ·加工效率的影响因素分析 | 第36-40页 |
| ·开路电压对加工效率的影响 | 第37-38页 |
| ·电容对加工效率的影响 | 第38-39页 |
| ·工作液对加工效率的影响 | 第39-40页 |
| ·微细阵列孔的电火花加工实例及分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 微细阵列孔的电化学加工工艺研究 | 第44-54页 |
| ·电化学加工机理 | 第44-45页 |
| ·电解加工精度的影响因素分析 | 第45-49页 |
| ·加工电压对加工间隙的影响 | 第47页 |
| ·电解液浓度对加工间隙的影响 | 第47-48页 |
| ·占空比对加工间隙的影响 | 第48-49页 |
| ·电解加工效率的影响因素分析 | 第49-51页 |
| ·加工电压对加工效率的影响 | 第49-50页 |
| ·电解液浓度对加工效率的影响 | 第50页 |
| ·占空比对加工效率的影响 | 第50-51页 |
| ·微细阵列孔的电化学加工实例及分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录 | 第58-59页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |