| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-21页 |
| ·铁电材料的研究历史及性质 | 第9-11页 |
| ·BST 类材料的结构及性质 | 第11-12页 |
| ·集成铁电薄膜器件的电极材料 | 第12-14页 |
| ·SRO 材料的结构与性质 | 第14-15页 |
| ·SRO 薄膜制备的方法 | 第15-16页 |
| ·SRO 薄膜的研究现状 | 第16-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 实验方法和装置 | 第21-29页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第21-24页 |
| ·脉冲激光沉积的过程 | 第21-22页 |
| ·PLD 镀膜的工艺参数 | 第22-24页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)的特点 | 第24页 |
| ·薄膜的微观结构分析方法 | 第24-27页 |
| ·XRD 原理 | 第24-25页 |
| ·AFM 原理 | 第25-27页 |
| ·电性能测试方法 | 第27-29页 |
| ·四探针法测量原理 | 第27-28页 |
| ·介电性能测试方法 | 第28-29页 |
| 第三章 PLD 法制备SRO 薄膜的生长工艺研究 | 第29-42页 |
| ·不同基片上制备SRO 薄膜的最低结晶温度 | 第29-32页 |
| ·实验 | 第30页 |
| ·XRDθ-2θ扫描结果分析 | 第30-32页 |
| ·工艺参数对MGO 基片上沉积SRO 薄膜的结构和性能的影响 | 第32-36页 |
| ·生长温度对SRO/MgO 薄膜表面形貌的影响 | 第32-34页 |
| ·生长温度对SRO/MgO 薄膜电阻率的影响 | 第34页 |
| ·氧分压对SRO/MgO 薄膜晶体结构的影响 | 第34-35页 |
| ·激光能量密度对SRO/MgO 薄膜晶体结构的影响 | 第35-36页 |
| ·MGO 基片上SRO 外延薄膜的微结构分析 | 第36-40页 |
| ·STO、MGO 基片上SRO 外延薄膜结构综合分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 SRO 底电极上BST 类铁电薄膜的结构与性能研究 | 第42-51页 |
| ·BTO/SRO 集成薄膜的结构与铁电性能 | 第42-45页 |
| ·BST/SRO 集成薄膜的结构与介电性能 | 第45-50页 |
| ·实验 | 第45页 |
| ·BST/SRO/MgO 微结构分析 | 第45-47页 |
| ·BST/SRO/MgO 介电性能 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 SRO/PT 复合电极及BST/SRO/PT 集成薄膜的生长研究 | 第51-57页 |
| ·PT/TI/5102/SI 基片上SRO 薄膜的生长研究 | 第51-53页 |
| ·BST/SRO/PT 集成薄膜的结构和性能研究 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 在学期间的研究成果 | 第62页 |
