| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 第一章 前言 | 第13-46页 |
| ·CVD金刚石薄膜研究概况 | 第13-22页 |
| ·金刚石薄膜的优异性能 | 第13-15页 |
| ·金刚石薄膜研究的关键技术 | 第15-19页 |
| ·金刚石薄膜目前的主要应用 | 第19-22页 |
| ·CVD金刚石辐射探测器 | 第22-33页 |
| ·金刚石为何可以作为固体探测器材料? | 第23-24页 |
| ·金刚石探测器的结构 | 第24-26页 |
| ·金刚石探测器带电粒子探测机理 | 第26页 |
| ·金刚石探测器中性粒子探测机理 | 第26-27页 |
| ·电荷收集效率和距离 | 第27-28页 |
| ·金刚石探测器的研究进展 | 第28-31页 |
| ·影响探测器性能的主要因素 | 第31页 |
| ·金刚石探测器的应用领域 | 第31-33页 |
| ·立题依据及本文主要研究内容 | 第33-34页 |
| ·立体依据 | 第33页 |
| ·本文主要研究内容 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-46页 |
| 第二章 CVD金刚石薄膜的制备及性能研究 | 第46-73页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·实验过程 | 第47-57页 |
| ·热丝化学气相沉积金刚石薄膜 | 第47-49页 |
| ·金刚石薄膜制备条件的优化 | 第49-55页 |
| ·金刚石薄膜的制备 | 第55-56页 |
| ·测试仪器设备 | 第56-57页 |
| ·金刚石膜的形貌表征 | 第57-60页 |
| ·SEM表征 | 第57-59页 |
| ·AFM表征 | 第59-60页 |
| ·X射线衍射(XRD)表征 | 第60-62页 |
| ·拉曼光谱(Raman)表征 | 第62-63页 |
| ·退火工艺对薄膜质量的影响 | 第63-64页 |
| ·金刚石膜的介电性能 | 第64-65页 |
| ·金刚石膜的抛光研究 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 第三章 (100)和(111)取向CVD金刚石薄膜的光电特性 | 第73-91页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·不同取向金刚石薄膜的表征 | 第73-75页 |
| ·金刚石薄膜的表面形貌 | 第74页 |
| ·金刚石薄膜的质量表征 | 第74-75页 |
| ·不同取向金刚石薄膜的光学性能 | 第75-77页 |
| ·不同取向金刚石薄膜的电学性能 | 第77-84页 |
| ·金刚石薄膜的暗电流 | 第77页 |
| ·退火对金刚石薄膜电学特性的影响 | 第77-78页 |
| ·X射线辐照下金刚石薄膜的光电流 | 第78-80页 |
| ·金刚石薄膜的时间电流特性 | 第80页 |
| ·金刚石薄膜的Hall效应特性 | 第80-84页 |
| ·氢等离子体处理对金刚石薄膜光电性能的影响 | 第84-87页 |
| ·对光学性能的影响 | 第84-86页 |
| ·对电学特性的影响 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 第四章 CVD金刚石一维列阵探测器的制备研究 | 第91-114页 |
| ·引言 | 第91-92页 |
| ·金刚石与金属的欧姆接触特性 | 第92-96页 |
| ·金属和半导体的功函数 | 第92-93页 |
| ·接触势垒 | 第93-94页 |
| ·理想接触的金属-半导体界面附近的能带 | 第94页 |
| ·欧姆接触 | 第94-95页 |
| ·接触金属材料的选择 | 第95-96页 |
| ·金刚石膜的预处理 | 第96-98页 |
| ·表面氧化处理 | 第97页 |
| ·退火处理 | 第97-98页 |
| ·金刚石膜的辐射损伤研究 | 第98-100页 |
| ·金刚石一维列阵探测器的制备 | 第100-102页 |
| ·金刚石一维列阵探测器的性能表征 | 第102-110页 |
| ·探测器的暗电流特性 | 第102-103页 |
| ·α粒子辐照下的净光电流 | 第103-104页 |
| ·光电流随辐照时间的变化关系 | 第104-105页 |
| ·脉冲高度分布谱 | 第105-107页 |
| ·电荷收集效率与距离 | 第107-109页 |
| ·载流子寿命 | 第109-110页 |
| ·本章小结 | 第110页 |
| 参考文献 | 第110-114页 |
| 第五章 CVD金刚石中子探测器的初步研制 | 第114-126页 |
| ·前言 | 第114页 |
| ·中子探测的主要方法 | 第114-116页 |
| ·核反应法 | 第114-115页 |
| ·核反冲法 | 第115页 |
| ·核裂变法 | 第115-116页 |
| ·激活探测法 | 第116页 |
| ·中子探测器的研究进展 | 第116-117页 |
| ·天然金刚石中子探测器 | 第116-117页 |
| ·CVD金刚石中子探测器 | 第117页 |
| ·金刚石的中子辐照损伤研究 | 第117-119页 |
| ·金刚石中子探测器的研制及性能研究 | 第119-123页 |
| ·探测器的制备 | 第119页 |
| ·探测器的电学和α粒子响应特性 | 第119-120页 |
| ·探测器的中子响应特性 | 第120-123页 |
| ·本章小结 | 第123页 |
| 参考文献 | 第123-126页 |
| 第六章 结论 | 第126-129页 |
| ·结论 | 第126-128页 |
| ·创新之处 | 第128-129页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第129-134页 |
| 作者在攻读博士学位期间申请的专利 | 第134-135页 |
| 作者在攻读博士学位期间所承担的科研项目 | 第135-136页 |
| 作者在研究生期间所获得的奖励 | 第136-137页 |
| 个人简介 | 第137-138页 |
| 致谢 | 第138页 |