数字激光刻线加工机关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1-1 引言 | 第8页 |
| 1-2 激光加工技术概述 | 第8-10页 |
| 1-2-1 激光器技术 | 第8页 |
| 1-2-2 激光技术的应用 | 第8-10页 |
| 1-3 激光打标技术国内外发展概况 | 第10页 |
| 1-4 激光刻线机控制器的分类 | 第10-11页 |
| 1-5 激光刻线机系统简介 | 第11-12页 |
| 1-6 本论文的主要研究内容和意义 | 第12-13页 |
| 第二章 激光刻线机系统的硬件组成及研制 | 第13-22页 |
| 2-1 激光器的原理和组成 | 第13-17页 |
| 2-1-1 激光器原理 | 第13-15页 |
| 2-1-2 激光器组成 | 第15-17页 |
| 2-2 激光刻线机的机械结构 | 第17-21页 |
| 2-2-1 振镜的选择 | 第18-19页 |
| 2-2-2 冷却系统 | 第19-21页 |
| 2-2-3 工作台检测系统研制 | 第21页 |
| 2-4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 激光刻线机的控制系统 | 第22-37页 |
| 3-1 激光刻线机控制卡开发 | 第22-24页 |
| 3-1-1 LMC_2 打标控制卡简介 | 第22-24页 |
| 3-2 振镜的运动控制 | 第24-25页 |
| 3-2-1 振镜原理及基本控制开发 | 第24页 |
| 3-2-2 振镜的矢量运动控制 | 第24页 |
| 3-2-3 振镜与激光器的协调控制 | 第24-25页 |
| 3-3 激光刻线机连续激光电源的研制 | 第25-28页 |
| 3-3-1 工作原理 | 第25页 |
| 3-3-2 工作状态 | 第25-28页 |
| 3-4 激光刻线机Q开关驱动电源的研制 | 第28-29页 |
| 3-4-1 Q开关元件工作原理 | 第28页 |
| 3-4-2 Q驱动器的构成及工作原理 | 第28-29页 |
| 3-5 数控工作台控制电路开发 | 第29-36页 |
| 3-5-1 工作台系统硬件组成 | 第29-30页 |
| 3-5-2 永磁同步直线电机的系统研制 | 第30-32页 |
| 3-5-3 全闭环控制系统结构研制 | 第32-33页 |
| 3-5-4 运动控制器工作原理和硬件结构 | 第33-35页 |
| 3-5-5 DSP与PC机串口通信硬件研制 | 第35-36页 |
| 3-6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 激光刻线机系统的软件开发及功能实现 | 第37-48页 |
| 4-1 上位机与激光输出单元通信的研制 | 第37-45页 |
| 4-1-1 通信方式简介 | 第38-39页 |
| 4-1-2 激光电源与上位机通信软件研制 | 第39-41页 |
| 4-1-3 Q电源与上位机通信软件开发 | 第41-43页 |
| 4-1-4 人机交互界面软件开发 | 第43-45页 |
| 4-2 工作台控制软件的开发与研制 | 第45-47页 |
| 4-2-1 上位机的软件研制 | 第45页 |
| 4-2-2 下位机串口通信软件研制 | 第45-47页 |
| 4-3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 激光刻线机工艺分析及参数设置 | 第48-55页 |
| 5-1 激光刻线机工艺分析 | 第48-51页 |
| 5-1-1 标刻速度 | 第48页 |
| 5-1-2 Q调制频率与激光光斑重叠率 | 第48-49页 |
| 5-1-3 Q频率与激光功率 | 第49页 |
| 5-1-4 打标参数优化 | 第49-51页 |
| 5-2 位置闭环控制 | 第51-52页 |
| 5-3 系统中影响可靠性的因素 | 第52-54页 |
| 5-3-1 抑制干扰源 | 第52-53页 |
| 5-3-2 切断干扰路径 | 第53页 |
| 5-3-3 提高敏感器件的抗干扰性能 | 第53-54页 |
| 5-4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 结论与展望 | 第55-56页 |
| 6-1 结论 | 第55页 |
| 6-2 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
