| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪言 | 第9-25页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·气敏传感器的发展和研究现状 | 第10-15页 |
| ·纳米ZnO 的制备和应用 | 第15-18页 |
| ·纳米ZnO 气敏元件的研究进展 | 第18-20页 |
| ·挥发性有机化合物(VOC)及其控制 | 第20-24页 |
| ·本课题的研究意义和内容 | 第24-25页 |
| 2 热氧化纳米Zn 制备ZnO 厚膜及其形貌分析 | 第25-41页 |
| ·前言 | 第25页 |
| ·ZnO 气敏材料及元件的制备 | 第25-28页 |
| ·气敏元件的测试 | 第28-31页 |
| ·实验结果与分析 | 第31-39页 |
| ·热氧化纳米Zn 气敏性能分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 不同形貌纳米ZnO 的电学及气敏性能分析 | 第41-59页 |
| ·前言 | 第41页 |
| ·气敏元件电阻值分析 | 第41-46页 |
| ·片状和四针状 ZnO 对 VOCs 的敏感度分析 | 第46-52页 |
| ·粒状纳米 ZnO、微米 ZnO 和片状纳米 ZnO 对 VOCs 的敏感度分析 | 第52-55页 |
| ·ZnO 厚膜气敏元件电阻值分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 4 全文总结 | 第59-61页 |
| 致 谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第68页 |