| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-12页 |
| ·金刚石膜的结构与性质 | 第12-13页 |
| ·金刚石膜的合成方法 | 第13-20页 |
| ·溅射镀膜法 | 第15-16页 |
| ·离化沉积法 | 第16-17页 |
| ·热丝气相沉积法 | 第17-18页 |
| ·直流等离子体喷射化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积 | 第19-20页 |
| ·金刚石膜应用中存在的问题 | 第20-22页 |
| ·本论文研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 实验方案 | 第23-32页 |
| ·镀膜系统 | 第23-24页 |
| ·薄膜结构设计与镀膜工艺 | 第24-27页 |
| ·SiC 复合过渡层金刚石膜 | 第24-26页 |
| ·带有复合过渡层的金刚石膜结构设计与镀膜工艺 | 第26-27页 |
| ·薄膜表征方法 | 第27-32页 |
| ·微观形貌分析 | 第27-28页 |
| ·结构及成分分析 | 第28-30页 |
| ·摩擦学性能表征 | 第30-32页 |
| 第三章 在线 HF-CVD 合成 SiC 复合过渡层金刚石膜 | 第32-38页 |
| ·金刚石膜的表面形貌 | 第32页 |
| ·金刚石膜的微观结构 | 第32-35页 |
| ·金刚石膜的摩擦学性能 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 带有复合过渡层的金刚石膜 | 第38-44页 |
| ·基体表面处理对硬质合金基体的影响 | 第38页 |
| ·金刚石膜的微观形貌 | 第38-40页 |
| ·薄膜的结构和成分 | 第40-42页 |
| ·金刚石膜的摩擦学性能 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 改善金刚石与基体结合力的方法 | 第44-54页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·金刚石膜与硬质合金结合力的影响因素 | 第44-46页 |
| ·提高金刚石膜的结合力的方法 | 第46-53页 |
| ·表面预处理 | 第46-49页 |
| ·施加过渡层 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-64页 |
| 个人简历 | 第64-65页 |
| 在学期间研究成果 | 第65页 |