| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 序论 | 第9-28页 |
| §1.1 MEMS概述 | 第9-14页 |
| §1.1.1 MEMS技术 | 第9-10页 |
| §1.1.2 MEMS的发展阶段 | 第10-11页 |
| §1.1.3 典型的MEMS工艺 | 第11-14页 |
| §1.2 陀螺概述 | 第14-24页 |
| §1.2.1 陀螺的功能 | 第14-16页 |
| §1.2.2 陀螺的分类 | 第16-19页 |
| §1.2.3 典型的MEMS陀螺 | 第19-24页 |
| §1.3 压阻式微机械陀螺概述 | 第24-26页 |
| §1.4 本文所做的工作 | 第26-28页 |
| 第二章 陀螺工作原理与设计 | 第28-69页 |
| §2.1 Coriolis效应和微机械陀螺的动力学方程 | 第28-32页 |
| §2.2 陀螺的总体设计 | 第32-36页 |
| §2.2.1 器件结构与工作原理 | 第32-34页 |
| §2.2.2 误差来源 | 第34-36页 |
| §2.3 陀螺驱动模态的设计 | 第36-48页 |
| §2.3.1 静电驱动 | 第36-40页 |
| §2.3.2 陀螺的驱动响应 | 第40-43页 |
| §2.3.3 驱动响应的频率特性 | 第43-44页 |
| §2.3.4 驱动模态的阻尼设计 | 第44-48页 |
| §2.4 Coriolis加速度的检测 | 第48-60页 |
| §2.4.1 Coriolis加速度检测原理 | 第48-50页 |
| §2.4.2 微梁直拉直压检测原理 | 第50-51页 |
| §2.4.3 微梁位置的确定 | 第51-54页 |
| §2.4.4 检测部分的频率特性 | 第54-55页 |
| §2.4.5 检测部分的加速度灵敏度 | 第55-57页 |
| §2.4.6 检测模态的阻尼设计 | 第57-60页 |
| §2.5 陀螺的角速度灵敏度 | 第60-61页 |
| §2.6 陀螺的仿真 | 第61-63页 |
| §2.7 压阻温度效应的补偿 | 第63-67页 |
| §2.7.1 压阻四端器件的设计 | 第64-65页 |
| §2.7.2 温度补偿的原理 | 第65-67页 |
| §2.8 小节 | 第67-69页 |
| 第三章 陀螺的制造工艺 | 第69-87页 |
| §3.1 DRIE工艺简介 | 第69-71页 |
| §3.2 陀螺的工艺设计 | 第71-73页 |
| §3.3 DRIE工艺中的问题与解决 | 第73-76页 |
| §3.4 陀螺的工艺流程及结果 | 第76-82页 |
| §3.5 陀螺工艺中的创新点 | 第82-87页 |
| 第四章 陀螺的接口电路 | 第87-97页 |
| §4.1 压阻惠斯顿电桥信号检测原理 | 第87-89页 |
| §4.2 陀螺的信号处理模型 | 第89-91页 |
| §4.3 寄生信号对陀螺信号影响的分析 | 第91-92页 |
| §4.3.1 寄生振动对陀螺信号影响的分析 | 第91-92页 |
| §4.3.2 正交误差对陀螺信号影响的分析 | 第92页 |
| §4.4 接口电路设计与实现 | 第92-95页 |
| §4.5 陀螺的片上温度自补偿 | 第95-97页 |
| 第五章 陀螺的性能测试 | 第97-107页 |
| §5.1 驱动模态幅频特性 | 第97-98页 |
| §5.2 静态加速度特性 | 第98-100页 |
| §5.3 检测模态幅频特性 | 第100-102页 |
| §5.4 陀螺的角速度灵敏度 | 第102-104页 |
| §5.5 陀螺的噪声特性 | 第104-105页 |
| §5.6 压阻元件的温度系数 | 第105-106页 |
| §5.7 小节 | 第106-107页 |
| 第六章 结论 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-113页 |
| 攻读博士期间发表的文章及申请的专利 | 第113-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 个人简历 | 第115-116页 |
| 学位论文独创性声明 | 第116页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第116页 |