| 摘 要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目 录 | 第5-7页 |
| 1 绪言 | 第7-12页 |
| ·薄膜生长理论研究的现状 | 第7-11页 |
| ·我所作的工作 | 第11-12页 |
| 2 薄膜的生长过程 | 第12-21页 |
| ·亚单层膜的生长过程 | 第12-15页 |
| ·厚膜的生长 | 第15-17页 |
| ·影响薄膜生长的因素 | 第17-21页 |
| 3 薄膜生长的模拟原理和方法 | 第21-28页 |
| ·分子动力学方法 | 第21-23页 |
| ·第一性原理分子动力学方法 | 第23-25页 |
| ·KMC方法 | 第25-28页 |
| 4 我们的模型和计算方法 | 第28-34页 |
| ·物理模型 | 第28-31页 |
| ·几个关键步骤的计算方法 | 第31-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 5 薄膜外延生长的KMC模拟 | 第34-40页 |
| ·沉积过程和表面扩散势垒的选取 | 第34-36页 |
| ·模拟结果和分析 | 第36-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 6 溅射沉积条件下薄膜生长的KMC模拟 | 第40-47页 |
| ·原子在晶面间的扩散和势垒的计算 | 第40-41页 |
| ·沉积角对薄膜生长的影响 | 第41-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 致 谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第54页 |