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臭氧发生系统中干燥净化装置的研制

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 前言第10-20页
   ·臭氧的性质第10-12页
     ·臭氧的物理性质第10页
     ·臭氧的化学性质第10-12页
   ·臭氧的功能与机理描述第12-13页
     ·杀菌消毒第12-13页
     ·除臭第13页
     ·保鲜第13页
     ·解毒第13页
   ·臭氧发生方法概述第13-16页
     ·光化学法第13-14页
     ·电化学法第14-15页
     ·电晕放电法第15-16页
   ·臭氧的应用第16-18页
     ·臭氧的应用领域第16-17页
     ·国外臭氧技术开发应用发展现状第17-18页
     ·国内臭氧技术开发应用发展现状第18页
     ·臭氧技术的发展趋势第18页
   ·论文的背景及主要任务第18-20页
     ·论文的背景第19页
     ·主要任务第19-20页
第2章 电晕放电法产生臭氧的机理第20-29页
   ·等离子荷电产生臭氧的过程第20-21页
   ·电晕放电产生臭氧的机理第21-29页
     ·与臭氧形成有关的反应第21-22页
     ·电晕放电的特性第22-26页
     ·介质阻挡强电离产生臭氧技术第26-27页
     ·沿面放电产生臭氧技术第27-29页
第3章 原料气对臭氧发生的影响及其干燥净化的原理第29-42页
   ·原料气对臭氧发生的影响第29-32页
     ·原料气中的水分对臭氧发生的影响第29-30页
     ·原料气的流量对臭氧发生的影响第30-31页
     ·原料气中氧的含量对臭氧发生的影响第31-32页
     ·其它第32页
   ·提高原料气的质量第32-38页
     ·降低原料气露点第33-35页
     ·提高气源中氧气含量第35-37页
     ·原料气的除尘净化第37-38页
   ·半导体制冷第38-42页
     ·半导体制冷概述第38-39页
     ·半导体制冷的原理第39-42页
第4章 原料气净化系统的研制第42-56页
   ·臭氧发生工艺简介第42-43页
   ·原料气净化工艺简介第43-44页
   ·常规干燥净化系统第44-51页
     ·常规干燥净化系统的流程第44页
     ·常规干燥净化系统的研制第44-49页
     ·机械方面的设计第49-51页
   ·半导体干燥净化系统第51-56页
     ·半导体干燥净化器的研制第52-55页
     ·半导体干燥净化器的工作原理第55-56页
第5章 试验结果与讨论第56-62页
   ·干燥系统的性能评价试验第56-58页
     ·试验与数据第56-58页
     ·结论与分析第58页
   ·原料气对臭氧产生的影响试验第58-61页
     ·实验与数据第58-60页
     ·结论与分析第60-61页
   ·干燥系统的对比第61-62页
第6章 结果与展望第62-63页
参考文献第63-66页
附表1第66-68页
致谢第68页

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