| 中文摘要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| §1．1 引言 | 第9页 |
| §1．2 STM的特点与应用 | 第9-11页 |
| §1．3 STM和AFM等扫描探针显微镜的发展概况及其研究意义 | 第11-12页 |
| §1．4 本文主要的研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 STM用于超精表面微观形貌检测机理及影响测量精度的因素 | 第13-23页 |
| §2．1 引言 | 第13页 |
| §2．2 STM用于超精表面形貌检测机理分析 | 第13-17页 |
| §2．3 STM检测机理实验论正 | 第17-18页 |
| §2．4 纵向测量灵敏度及影响因素 | 第18-20页 |
| §2．5 扫描探针针尖对STM测量分辨率的影响 | 第20-22页 |
| §2．6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 STM扫描器、工作台的标定及非线性误差补偿研究 | 第23-30页 |
| §3．1 前言 | 第23页 |
| §3．2 压电陶瓷管扫描器的标定 | 第23-27页 |
| §3．3 扫描工作台非线性误差分析及补偿 | 第27-28页 |
| §3．4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第四章 STM控制电路的研制及反馈控制系统的分析 | 第30-44页 |
| §4．1 STM用于表面形貌检测的工作模式 | 第30页 |
| §4．2 STM的控制现状 | 第30-31页 |
| §4．3 STM的控制系统总体方案 | 第31-37页 |
| §4．4 STM反馈控制系统的性能分析 | 第37-41页 |
| §4．5 反馈增益的实验调整研究 | 第41-43页 |
| §4．6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 STM腐针电路的研制及实验分析 | 第44-51页 |
| §5．1 引言 | 第44页 |
| §5．2 探针制备 | 第44页 |
| §5．3 腐针的工作原理 | 第44-45页 |
| §5．4 腐针电路的设计与实现 | 第45-46页 |
| §5．5 腐针参数优化试验分析 | 第46-50页 |
| §5．6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 STM的性能检测 | 第51-56页 |
| §6．1 引言 | 第51页 |
| §6．2 重复性扫描检测 | 第51-52页 |
| §6．3 逐级定位扫描放大技术的实现 | 第52-55页 |
| §6．4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第七章 STM用于典型超精表面微观形貌的检测与分析 | 第56-67页 |
| §7．1 引言 | 第56页 |
| §7．2 CBN砂轮高速磨削试件表面的检测及测试结果分析 | 第56-60页 |
| §7．3 其他几种典型试件超光滑表面形貌的检测 | 第60-65页 |
| §7．4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第八章 用STM对超精试件表面参数的分析 | 第67-81页 |
| §8．1 引言 | 第67页 |
| §8．2 STM多分辨率技术 | 第67页 |
| §8．3 表面二维、三维传统粗糙度评价 | 第67-69页 |
| §8．4 用三维参数对表面质量进行描述 | 第69-73页 |
| §8．5 用分形维的方法研究表面形貌分形特征 | 第73-76页 |
| §8．6 实验数据处理与分析 | 第76-78页 |
| §8．7 本章小结 | 第78-81页 |
| 第九章 本文主要结论 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 附录A | 第86-88页 |
