| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| ·类金刚石薄膜的组成和结构 | 第11-13页 |
| ·类金刚石薄膜制备与表征 | 第13-18页 |
| ·类金刚石薄膜的制备 | 第13-15页 |
| ·类金刚石薄膜的表征 | 第15-18页 |
| ·DLC 薄膜的性质和应用及掺杂、过渡层碳基薄膜的现状研究 | 第18-22页 |
| ·DLC 薄膜的性质及应用 | 第18-19页 |
| ·DLC 薄膜存在的问题 | 第19-20页 |
| ·掺杂、过渡层碳基薄膜现状研究 | 第20-22页 |
| ·选题依据与研究内容 | 第22-23页 |
| ·选题依据 | 第22页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-30页 |
| 第2章 硅过渡层 DLC 薄膜的制备、结构及摩擦学性能研究 | 第30-46页 |
| ·实验部分 | 第30-32页 |
| ·实验设备、原料及前处理 | 第30-31页 |
| ·薄膜的制备 | 第31-32页 |
| ·薄膜的组成与结构表征 | 第32页 |
| ·结果与讨论 | 第32-37页 |
| ·含 SI 过渡层 DLC 薄膜的结构 | 第32-36页 |
| ·含 SI 过渡层 DLC 薄膜的力学性能 | 第36页 |
| ·含 SI 过渡层 DLC 薄膜的摩擦学性能 | 第36-37页 |
| ·偏压对 SI 过渡层 DLC 薄膜性能的影响 | 第37-38页 |
| ·结果与讨论 | 第38-43页 |
| ·薄膜的结构 | 第38-41页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第41页 |
| ·薄膜的摩擦学性能 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第3章 SI 掺杂对 DLC 薄膜耐高温性能的研究 | 第46-56页 |
| ·实验部分 | 第46-47页 |
| ·实验设备、原料及前处理 | 第46页 |
| ·含硅 DLC 薄膜的制备 | 第46-47页 |
| ·薄膜的组成与结构表征 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-53页 |
| ·薄膜的结构 | 第47-51页 |
| ·薄膜的摩擦学性能 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第4章 钛（TI）金属梯度过渡层 DLC 薄膜的性能研究 | 第56-63页 |
| ·实验部分 | 第57页 |
| ·实验设备、原料及前处理 | 第57页 |
| ·钛过渡层和梯度层 DLC 薄膜的制备 | 第57页 |
| ·薄膜的组成与结构表征 | 第57页 |
| ·结果与讨论 | 第57-61页 |
| ·薄膜的结构 | 第57-59页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第59-60页 |
| ·薄膜的摩擦学性能 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第5章 结束语 | 第63-65页 |
| ·主要内容和主要结论 | 第63-64页 |
| ·存在问题和今后工作重点 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 A 攻读硕士学位期间发表和待发表论文 | 第66页 |
