| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·本文的研究领域及研究背景 | 第8-13页 |
| ·微机电技术的基本概念及特点 | 第8-10页 |
| ·微机电技术的研究内容 | 第10-11页 |
| ·微机电技术在引信中的应用 | 第11-12页 |
| ·微机电安全与解除保险装置的研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·微机电安全与解除保险装置的国内外发展状况 | 第13-19页 |
| ·国内外微机电安全与解除保险装置的研究状况 | 第13-14页 |
| ·美国典型微机电安全与解除保险装置分析 | 第14-19页 |
| ·本文研究内容与工作安排 | 第19-21页 |
| 2 微机电安全与解除保险装置总体设计 | 第21-37页 |
| ·电磁驱动式微机电安全与解除保险装置的研究背景及应用前景 | 第21-24页 |
| ·引信安全与解除保险装置的设计要求 | 第24-26页 |
| ·隔爆爆炸序列与保险逻辑 | 第25-26页 |
| ·解除保险环境的选择 | 第26页 |
| ·微机电安全与解除保险装置初步设计 | 第26-30页 |
| ·微机电安全与解除保险装置的作用过程 | 第28-29页 |
| ·初步改进的微机电安全与解除保险装置设计方案 | 第29-30页 |
| ·微安全与解除保险机构设计 | 第30-33页 |
| ·改进的滑块 | 第30页 |
| ·改进的锁销 | 第30-31页 |
| ·改进后的微安全与解除保险机构方案 | 第31-32页 |
| ·微驱动器设计 | 第32-33页 |
| ·采用惯性保险逻辑的微机电安全与解除保险装置结构设计 | 第33-34页 |
| ·最终加工的安全与解除保险装置总体结构 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 微机电安全与解除保险装置结构件有限元分析 | 第37-65页 |
| ·有限单元法基本原理与ANSYS软件简介 | 第37-38页 |
| ·微引信弹簧结构仿真与理论推导 | 第38-54页 |
| ·微引信弹簧弹性系数计算公式的理论推导 | 第39-49页 |
| ·微弹簧单元仿真与弹性系数理论公式验证 | 第49-53页 |
| ·微弹簧结构特性与力学特性的关系 | 第53-54页 |
| ·微安全与解除保险机构的有限元分析 | 第54-63页 |
| ·微安全与解除保险机构的结构件静力学分析 | 第54-58页 |
| ·微隔爆机构的模态分析 | 第58-60页 |
| ·电磁驱动器设计及电磁吸力仿真 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 4 微机电安全与解除保险装置加工工艺 | 第65-82页 |
| ·加工工艺的选择 | 第65-69页 |
| ·DRIE工艺 | 第65-66页 |
| ·LIGA工艺 | 第66-67页 |
| ·准 LIGA工艺 | 第67-68页 |
| ·工艺选择 | 第68-69页 |
| ·微安全与解除保险机构的LIGA工艺流程中的关键工艺 | 第69-79页 |
| ·版图设计及光学掩模板制作 | 第69-70页 |
| ·X射线掩模板制备 | 第70-73页 |
| ·X光深层光刻工艺 | 第73-77页 |
| ·微电铸工艺 | 第77-79页 |
| ·微安全与解除保险机构装配及电镜分析 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 5 微机电安全与解除保险装置测试及优化改进 | 第82-88页 |
| ·微机电安全与解除保险装置的静态吸力实验 | 第82-83页 |
| ·微弹簧拉伸实验及滑块弹簧拉力测试 | 第83-84页 |
| ·锁销弹簧与滑块弹簧拉伸回缩实验 | 第83-84页 |
| ·滑块弹簧拉力测试 | 第84页 |
| ·机械冲击台冲击试验 | 第84-85页 |
| ·美军电磁驱动式微机电安全与解除保险装置静态起爆实验 | 第85-86页 |
| ·微机电安全与解除保险装置的优化改进 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 6 总结 | 第88-91页 |
| 论文总结 | 第88-89页 |
| 本文创新点 | 第89页 |
| 对今后工作的建议 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-96页 |
| 附录 | 第96页 |
