基于MEMS技术的引信隔爆机构的结构设计及工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| ·选题背景 | 第7-12页 |
| ·MEMS技术的基本概念及特点 | 第7-8页 |
| ·引信安全系统的发展历程 | 第8-9页 |
| ·MEMS技术在引信中的应用 | 第9-11页 |
| ·MEMS安全保险装置的研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·MEMS安全保险装置的国内外发展状况 | 第12-18页 |
| ·国内外安全保险装置的研究状况 | 第12-13页 |
| ·典型MEMS安全保险装置分析 | 第13-18页 |
| ·本文主要研究工作 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 2 典型部件—微弹簧的设计 | 第19-36页 |
| ·几类MEMS微弹簧弹性系数计算公式推导 | 第19-26页 |
| ·“L”型平面微弹簧 | 第19-21页 |
| ·“S”型平面微弹簧 | 第21-22页 |
| ·“Z”型平面微弹簧 | 第22-24页 |
| ·“B”型平面微弹簧 | 第24-26页 |
| ·微弹簧的类型选择及参数分析 | 第26-28页 |
| ·微弹簧的类型选择 | 第26-27页 |
| ·对“S”型微弹簧的参数分析 | 第27-28页 |
| ·微弹簧的有限元仿真 | 第28-35页 |
| ·ANSYS软件简述 | 第29页 |
| ·ANSYS仿真步骤 | 第29-30页 |
| ·仿真结果与推导公式的计算结果对比分析 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 基于 MEMS技术的隔爆机构的结构设计 | 第36-48页 |
| ·引信MEMS机构的设计方法 | 第36-40页 |
| ·MEMS安全保险装置设计方案 | 第40-41页 |
| ·总体结构设计 | 第40-41页 |
| ·MEMS安全保险装置的作用过程 | 第41页 |
| ·MEMS隔爆机构的设计 | 第41-46页 |
| ·初期设计方案 | 第42-43页 |
| ·隔爆机构的改进 | 第43-46页 |
| ·模拟样机的设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 基于 MEMS技术的隔爆机构的工艺研究 | 第48-63页 |
| ·LIGA技术 | 第48-51页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第51-55页 |
| ·UV-LIGA技术工艺过程 | 第51-53页 |
| ·UV-LIGA技术工艺难点 | 第53-55页 |
| ·工艺路线的确定 | 第55-60页 |
| ·三种工艺路线 | 第55-57页 |
| ·三种工艺路线的比较 | 第57-58页 |
| ·工艺路线的确定 | 第58-60页 |
| ·加工过程中的问题分析与讨论 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 隔爆机构的性能测试实验 | 第63-76页 |
| ·弹簧拉力测试实验 | 第63-70页 |
| ·实验目的及设备 | 第63页 |
| ·实验方法 | 第63-66页 |
| ·实验结果 | 第66-69页 |
| ·实验结果分析 | 第69-70页 |
| ·抗冲击实验 | 第70-75页 |
| ·实验目的及设备 | 第70页 |
| ·实验方法 | 第70-71页 |
| ·实验结果 | 第71-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 课题总结与展望 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
