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低温等离子体技术在高分子材料表面改性中的应用研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1 绪论第8-11页
   ·课题研究的背景第8-9页
   ·低温等离子体材料表面改性技术的国内外发展概况第9-10页
   ·课题研究内容和目标第10页
   ·论文的主要内容第10-11页
2 低温等离子体基本理论第11-14页
   ·等离子体的概念第11-12页
   ·低温等离子体的发生方式第12-14页
3 高分子材料表面改性机理的研究第14-19页
   ·等离子体对高分子材料表面作用机理第14-16页
   ·低温等离子体对高分子材料表面的作用第16-17页
   ·低温等离子体对高分子材料表面改性的方法第17-19页
4 低温等离子体处理设备的总体设计第19-23页
   ·低温等离子体处理设备研制的必要性第19-20页
   ·低温等离子体处理设备总体方案第20-23页
5 低温等离子体处理设备的研制第23-32页
   ·低温等离子体处理设备各主要分系统的详细设计第23-29页
     ·真空腔体的结构设计第23-26页
     ·电极组件的设计第26-27页
     ·真空系统的设计第27-29页
   ·设备的关键控制参数第29页
   ·低温等离子体处理设备处理工艺第29-32页
6 低温等离子体处理设备的应用第32-61页
   ·低温等离子体处理设备在各类印制电路板中的应用第32-33页
     ·孔避凹蚀/去除孔壁树脂钻污第32页
     ·聚四氟乙烯材料的活化改性处理第32页
     ·碳化物去除第32-33页
     ·内层预处理第33页
     ·残留物去除第33页
   ·微波印刷电路板制造用低温等离子体工艺技术第33-35页
     ·表面等离子体活化处理工艺第33-34页
     ·评判效果第34-35页
   ·低温等离子体技术在微波印制电路板制造中的应用第35-44页
     ·钠萘处理湿法技术第35-36页
     ·平面电阻制造技术第36-44页
       ·概述第36-37页
       ·平面电阻制造工艺流程制定第37-38页
       ·平面电阻制造工艺过程第38-41页
       ·平面电阻制作阻值测试第41-43页
       ·平面电阻的制作第43-44页
   ·微波多层印制电路板的制造第44-61页
     ·材料选择第44-48页
     ·等离子处理参数的优化处理第48-49页
     ·制造工艺流程第49-50页
     ·制造过程第50-61页
7 研究总结与展望第61-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-65页

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