咪唑啉类缓蚀剂缓蚀机理的理论研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 引言 | 第14-32页 |
| ·二氧化碳腐蚀 | 第14-18页 |
| ·二氧化碳腐蚀机理 | 第14-17页 |
| ·二氧化碳腐蚀产物 | 第17-18页 |
| ·缓蚀剂 | 第18-24页 |
| ·缓蚀剂的分类 | 第18-20页 |
| ·有机缓蚀剂的作用原理 | 第20-22页 |
| ·二氧化碳缓蚀剂 | 第22-23页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂 | 第23-24页 |
| ·缓蚀剂缓蚀机理研究进展 | 第24-29页 |
| ·缓蚀机理实验研究的局限性 | 第25-26页 |
| ·缓蚀机理的理论研究进展 | 第26-29页 |
| ·研究思路及研究内容 | 第29-32页 |
| ·研究思路 | 第29-30页 |
| ·研究内容 | 第30-32页 |
| 第2章 理论研究方法—分子模拟 | 第32-44页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·分子模拟 | 第33-41页 |
| ·概述 | 第33-35页 |
| ·密度泛函理论 | 第35-37页 |
| ·分子力学方法 | 第37-39页 |
| ·分子动力学模拟 | 第39-41页 |
| ·模拟软件 | 第41-43页 |
| ·Gaussian 03W | 第41页 |
| ·Materials Studio | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 咪唑啉分子反应活性的密度泛函理论研究 | 第44-52页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·计算方法 | 第45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-51页 |
| ·优化分子结构 | 第45-46页 |
| ·前线轨道分布 | 第46-48页 |
| ·全局反应活性 | 第48-49页 |
| ·局部反应活性 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 咪唑啉缓蚀剂自组装膜的成膜机理研究 | 第52-68页 |
| ·引言 | 第52-53页 |
| ·计算方法 | 第53-55页 |
| ·吸附表面的选取 | 第53-54页 |
| ·分子动力学模拟 | 第54页 |
| ·分子力学 | 第54-55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-63页 |
| ·缓蚀剂分子在金属表面的空间位阻效应 | 第55-56页 |
| ·缓蚀剂分子与金属表面的相互作用 | 第56-59页 |
| ·缓蚀剂在金属表面的自组装单层膜 | 第59-63页 |
| ·缓蚀性能的理论评价结果与实验结果的对比分析 | 第63-66页 |
| ·溶剂对缓蚀剂吸附行为的影响 | 第64-65页 |
| ·缓蚀剂的溶解度和成膜时间对自组装膜的影响 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第5章 液相条件下咪唑啉在金属表面吸附的MD研究 | 第68-86页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·计算方法 | 第69-72页 |
| ·模型构建 | 第69-70页 |
| ·模拟细节 | 第70-71页 |
| ·平衡判据 | 第71-72页 |
| ·结果与讨论 | 第72-85页 |
| ·液相条件下单分子在金属表面的吸附 | 第72-78页 |
| ·液相条件下缓蚀剂在金属表面的吸附成膜 | 第78-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第6章 腐蚀介质在缓蚀剂膜中扩散行为的MD研究 | 第86-102页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·计算方法 | 第87-89页 |
| ·模型构建 | 第87-88页 |
| ·模拟细节 | 第88-89页 |
| ·平衡判据 | 第89页 |
| ·结果与讨论 | 第89-101页 |
| ·腐蚀介质在缓蚀剂体系中的扩散性能 | 第89-92页 |
| ·腐蚀介质粒子扩散的微观机理 | 第92-99页 |
| ·理论预测与实验结果存在差异的原因分析 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 结论 | 第102-106页 |
| 参考文献 | 第106-116页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第116-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 作者简介 | 第119页 |
