| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| §1-1 研究背景 | 第8-13页 |
| §1-2 研究现状 | 第13-16页 |
| §1-3 本论文的研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 ZnO 陶瓷靶材性能表征 | 第17-22页 |
| §2-1 纯度 | 第17页 |
| §2-2 密度 | 第17页 |
| §2-3 霍尔测试-Hall | 第17-18页 |
| §2-4 X 射线衍射-XRD | 第18页 |
| §2-5 扫描电子显微镜-SEM | 第18-19页 |
| §2-6 透射电子显微镜-TEM | 第19-20页 |
| §2-7 差热扫描量热法-DSC | 第20-22页 |
| 第三章 ZnO 陶瓷靶材的制备及性能研究 | 第22-46页 |
| §3-1 粉末成型对靶材性能的影响 | 第22-24页 |
| §3-2 Al_2O_3 粉末掺杂量对 ZnO 陶瓷靶材性能的影响 | 第24-29页 |
| 3-2-1 实验过程 | 第24页 |
| 3-2-2 电学特性测试结果与分析 | 第24-25页 |
| 3-2-3 晶体结构分析 | 第25-26页 |
| 3-2-4 微观形貌分析 | 第26-28页 |
| 3-2-5 外观形貌分析 | 第28页 |
| 3-2-6 结论 | 第28-29页 |
| §3-3 ZnO 陶瓷靶材烧结工艺的研究 | 第29-46页 |
| 3-3-1 烧结的基本类型 | 第29-30页 |
| 3-3-2 Al_2O_3 掺杂烧结工艺的研究 | 第30-34页 |
| 3-3-3 Al_2O_3 掺杂烧结温度对 ZnO 陶瓷靶材性能的影响 | 第34-35页 |
| 3-3-4 Al 粉掺杂烧结工艺的研究 | 第35-45页 |
| 3-3-5 结论 | 第45-46页 |
| 第四章 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第51页 |