| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 绪论 | 第9-20页 |
| 引言 | 第9页 |
| 1 气敏传感器的主要类型 | 第9-11页 |
| ·金属氧化物半导体气敏传感器 | 第9-10页 |
| ·有机半导体气敏传感器 | 第10-11页 |
| ·其它类型气敏传感器 | 第11页 |
| 2 金属氧化物半导体气敏传感器的发展概况 | 第11-13页 |
| 3 金属氧化物半导体气敏传感器目前研究的重点 | 第13-16页 |
| ·控制气敏元件的工作温度和降低元件的功耗 | 第14页 |
| ·采用物理方法提高传感器的性能 | 第14-15页 |
| ·通过掺杂改善传感器的气敏性能 | 第15-16页 |
| ·贵金属掺杂 | 第15页 |
| ·稀土元素掺杂 | 第15页 |
| ·金属氧化物半导体的掺杂 | 第15-16页 |
| ·采用特殊的表面处理提高传感器的性能 | 第16页 |
| ·开发新的气敏材料 | 第16页 |
| 4 金属氧化物气敏材料的制备方法 | 第16-18页 |
| ·液相法 | 第16-17页 |
| ·化学共沉淀法 | 第17页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第17页 |
| ·微乳液法 | 第17页 |
| ·水热法 | 第17页 |
| ·气相法 | 第17-18页 |
| ·固相法 | 第18页 |
| 5 本论文的选题依据和研究内容 | 第18-20页 |
| 第一章 气敏元件的制备和气敏性能测试 | 第20-26页 |
| ·气敏元件的结构 | 第20页 |
| ·气敏元件的制备工艺 | 第20-21页 |
| ·气敏性能测试 | 第21-26页 |
| ·测试原理 | 第21-22页 |
| ·测试方法 | 第22-23页 |
| ·测试所用公式 | 第23-24页 |
| ·测试步骤 | 第24页 |
| ·气敏元件的主要特性参数 | 第24-26页 |
| 第二章 固相合成二氧化锡气敏材料及其气敏性能的研究 | 第26-48页 |
| 第一节 多孔二氧化锡纳米粒子气敏材料的制备及其气敏特性 | 第27-39页 |
| ·实验部分 | 第27-29页 |
| ·试剂与仪器 | 第27-28页 |
| ·多孔二氧化锡纳米粒子的制备 | 第28-29页 |
| ·元件的制作及气敏性能测试 | 第29页 |
| ·结果与讨 | 第29-39页 |
| ·样品的物相分析 | 第29-30页 |
| ·样品的形貌分析 | 第30-32页 |
| ·样品的比表面积分析 | 第32-33页 |
| ·气敏性能测试及分析 | 第33-39页 |
| 第二节 银掺杂二氧化锡纳米粒子气敏材料的制备及其气敏特性 | 第39-47页 |
| ·实验部分 | 第39-40页 |
| ·试剂与仪器 | 第39页 |
| ·银掺杂二氧化锡纳米粒子的制备 | 第39-40页 |
| ·元件的制作及气敏性能测试 | 第40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-47页 |
| ·样品的物相分析 | 第40-42页 |
| ·样品的形貌分析 | 第42页 |
| ·气敏性能测试及分析 | 第42-47页 |
| 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 固相合成氧化锌气敏材料及其气敏性能的研究 | 第48-67页 |
| 第一节 碳微球对ZnO 纳米粒子气敏性能的影响 | 第49-57页 |
| ·实验部分 | 第49-50页 |
| ·试剂与仪器 | 第49-50页 |
| ·添加不同碳微球量的氧化锌的制备 | 第50页 |
| ·元件的制作及气敏性能测试 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-57页 |
| ·样品的物相分析 | 第50-52页 |
| ·样品的形貌分析 | 第52页 |
| ·气敏性能测试及分析 | 第52-57页 |
| 第二节 银掺杂氧化锌纳米棒气敏材料的制备及其气敏性能 | 第57-66页 |
| ·实验部分 | 第57-58页 |
| ·试剂与仪器 | 第57页 |
| ·银掺杂氧化锌纳米棒的制备 | 第57-58页 |
| ·元件的制作及气敏性能测试 | 第58页 |
| ·结果与讨论 | 第58-66页 |
| ·样品的物相分析 | 第58-59页 |
| ·样品的形貌分析 | 第59-60页 |
| ·气敏性能测试及分析 | 第60-66页 |
| 本章小结 | 第66-67页 |
| 全文总结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 发表、整理论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
