| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题的来源及研究的目的与意义 | 第8-9页 |
| ·超精密加工机床的发展现状 | 第9-10页 |
| ·直线电机直接驱动技术 | 第10-11页 |
| ·直线电机驱动技术在机床上的应用 | 第11-13页 |
| ·国外研究现状 | 第11-12页 |
| ·国内研究现状 | 第12-13页 |
| ·主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 永磁直线电机控制系统建模与仿真 | 第15-24页 |
| ·永磁直线电机控制系统建模 | 第15-17页 |
| ·永磁直线电机的数学模型 | 第15-17页 |
| ·直线电机双闭环控制系统数学模型 | 第17页 |
| ·直线电机PID控制系统设计 | 第17-20页 |
| ·直线电机PID控制系统的电流环设计 | 第18-19页 |
| ·直线电机PID控制系统的速度环设计 | 第19页 |
| ·直线电机PID控制系统的抗干扰设计 | 第19-20页 |
| ·基于Matlab/Simulink的控制系统仿真 | 第20-23页 |
| ·直线电机性能仿真 | 第20-21页 |
| ·控制系统动态特性仿真 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 基于UMAC的直线电机的控制系统设计 | 第24-34页 |
| ·控制系统总体结构 | 第24-27页 |
| ·直线电机 | 第25页 |
| ·光栅尺 | 第25-26页 |
| ·运动控制器 | 第26-27页 |
| ·基于UMAC的直线电机控制系统调试 | 第27-31页 |
| ·电机的控制模式 | 第27-28页 |
| ·UMAC的数字PID位置伺服滤波器 | 第28页 |
| ·控制系统PID参数整定 | 第28-30页 |
| ·控制系统速度/加速度前馈参数整定 | 第30-31页 |
| ·直线电机进给控制系统的性能测试 | 第31-33页 |
| ·控制系统的微位移实验 | 第31-32页 |
| ·控制系统的低速平稳性实验 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 控制系统程序设计及人机界面开发 | 第34-45页 |
| ·控制系统PLC程序设计 | 第34-36页 |
| ·UMAC的PLC程序 | 第34页 |
| ·PLC程序的执行 | 第34页 |
| ·PLC的触发方式 | 第34-35页 |
| ·PLC定时器 | 第35页 |
| ·PLC程序设计流程 | 第35-36页 |
| ·电机运动程序设计 | 第36-38页 |
| ·直线电机的进给运动设计 | 第36-37页 |
| ·直线电机回零运动程序设计 | 第37-38页 |
| ·控制系统辅助功能 | 第38-39页 |
| ·硬件超行程限制开关 | 第38页 |
| ·软件超行程限位 | 第38页 |
| ·速度/加速度及跟踪误差极限限制 | 第38-39页 |
| ·基于VC++6.0 的控制系统人机界面开发 | 第39-42页 |
| ·VC++与UMAC的通讯 | 第39-40页 |
| ·控制系统人机交互界面（MMI）的设计 | 第40页 |
| ·控制系统软件的模块化开发 | 第40-42页 |
| ·光学晶体加工实验 | 第42-44页 |
| ·实验条件 | 第42页 |
| ·实验过程 | 第42页 |
| ·实验结果与分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51页 |