| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·PZT薄膜的发展概况 | 第8页 |
| ·PZT薄膜微器件发展概况 | 第8-12页 |
| ·PZT薄膜微传感器的发展概况 | 第8-10页 |
| ·PZT薄膜微执行器发展概况 | 第10-12页 |
| ·本文的研究意义和主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 PZT薄膜的基本原理和检测方法 | 第13-22页 |
| ·PZT薄膜的晶体结构 | 第13-14页 |
| ·压电效应的产生机理 | 第14-15页 |
| ·PZT薄膜的制备方法简介 | 第15页 |
| ·PZT薄膜的腐蚀方法介绍 | 第15-16页 |
| ·PZT薄膜的掺杂理论 | 第16页 |
| ·XRD衍射分析原理 | 第16-17页 |
| ·原子力显微镜(AFM)原理 | 第17页 |
| ·介电常数与介电损耗 | 第17-18页 |
| ·漏电流特性 | 第18-19页 |
| ·铁电性能 | 第19-22页 |
| 3 锶掺杂PZT薄膜的制备和腐蚀实验 | 第22-33页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的制备 | 第22-25页 |
| ·锶掺杂PZT前驱液的配置 | 第22-24页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的制备工艺流程 | 第24-25页 |
| ·PZT薄膜的腐蚀实验 | 第25-32页 |
| ·腐蚀液的选择 | 第26页 |
| ·腐蚀机理 | 第26-27页 |
| ·腐蚀实验 | 第27-28页 |
| ·实验结果分析 | 第28-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 锶掺杂PZT薄膜的性能研究 | 第33-40页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的XRD衍射分析 | 第33-34页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的表面形貌 | 第34页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的介电性能 | 第34-37页 |
| ·锶掺杂浓度、电极面积和频率对PSZT薄膜介电常数的影响 | 第35-36页 |
| ·锶掺杂浓度、电极面积和频率对PSZT薄膜介电损耗的影响 | 第36-37页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的漏电流特性 | 第37-38页 |
| ·锶掺杂PZT薄膜的铁电性能 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 5 基于锶掺杂PZT薄膜的压电微悬臂梁的制备与性能测试 | 第40-50页 |
| ·压电微悬臂梁的制备工艺流程 | 第40-42页 |
| ·引线材料的选择 | 第42-43页 |
| ·基于锶掺杂PZT薄膜的压电微悬臂梁传感性能测试 | 第43-46页 |
| ·微悬臂梁传感性能测试原理 | 第43-45页 |
| ·四种不同锶掺杂浓度PSZT微悬臂梁传感性能的测试 | 第45-46页 |
| ·PZT压电微悬臂梁执行性能测试 | 第46-49页 |
| ·微悬臂梁执行性能测试原理 | 第46页 |
| ·微悬臂梁执行性能的测试 | 第46-48页 |
| ·横向压电系数e_(31)的计算 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
