| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·PZT 薄膜材料的发展现状及趋势 | 第10-13页 |
| ·PZT 薄膜的应用 | 第13-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 2. PZT 薄膜材料结构特性与制备技术介绍 | 第16-24页 |
| ·钙钛矿结构 | 第16-17页 |
| ·PZT 固溶体 | 第17-18页 |
| ·PZT 薄膜性质 | 第18-20页 |
| ·自发极化 | 第18页 |
| ·极化反转与电滞回线 | 第18-19页 |
| ·热释电性 | 第19-20页 |
| ·介电特性 | 第20页 |
| ·常用的薄膜制备技术及特点 | 第20-23页 |
| ·本章总结 | 第23-24页 |
| 3. 溶胶-凝胶法制备 PZT 薄膜 | 第24-36页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第24页 |
| ·PZT 薄膜制备工艺流程设计 | 第24-25页 |
| ·胶体配置及陈化 | 第25-28页 |
| ·溶胶的差热分析 | 第28-29页 |
| ·基片的选择与清洗 | 第29-31页 |
| ·匀胶与烧结 | 第31-33页 |
| ·高温热处理 | 第33-34页 |
| ·本章总结 | 第34-36页 |
| 4. PZT 薄膜表面形貌与结构性能表征 | 第36-53页 |
| ·相关实验方法及原理 | 第36-39页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第39页 |
| ·不同退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第39-44页 |
| ·AFM 测试 | 第40-42页 |
| ·SEM 测试 | 第42-44页 |
| ·不同退火温度对薄膜结构性能的影响 | 第44-52页 |
| ·XRD 测试 | 第45-47页 |
| ·Raman 测试 | 第47-52页 |
| ·本章总结 | 第52-53页 |
| 5. PZT 薄膜电学性能测试分析 | 第53-59页 |
| ·基于电学性能测试的敏感单元结构设计 | 第53页 |
| ·不同厚度薄膜电滞回线测试分析 | 第53-54页 |
| ·不同厚度薄膜的介电特性分析 | 第54-58页 |
| ·不同厚度薄膜介电性能与频率的关系 | 第55页 |
| ·薄膜厚度对介电性能的影响 | 第55-58页 |
| ·本章总结 | 第58-59页 |
| 6. 基于 PZT 薄膜红外探测结构制备及初步测试 | 第59-71页 |
| ·基于 PZT 薄膜的红外探测结构应用原理介绍 | 第59-60页 |
| ·PZT 薄膜敏感单元工作原理 | 第59-60页 |
| ·基于PZT 敏感单元的红外探测结构工作原理 | 第60页 |
| ·PZT 薄膜敏感单元的制备 | 第60-64页 |
| ·PZT 薄膜敏感单元结构设计 | 第61-62页 |
| ·PZT 薄膜敏感单元制备过程 | 第62-64页 |
| ·红外探测结构设计 | 第64-65页 |
| ·敏感单元信号提取电路设计 | 第64-65页 |
| ·红外探测结构整体设计 | 第65页 |
| ·红外探测结构热响应测试 | 第65-69页 |
| ·测试放大电路结构设计 | 第66页 |
| ·探测结构测试系统搭建 | 第66-67页 |
| ·探测结构热响应测试 | 第67-69页 |
| ·本章总结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |