| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 插图索引 | 第13-17页 |
| 附表索引 | 第17-18页 |
| 符号列表 | 第18-21页 |
| 第1章 绪论 | 第21-44页 |
| ·研究背景 | 第21-39页 |
| ·微细加工技术概述 | 第22-29页 |
| ·电化学微加工机床中的运动装置 | 第29-33页 |
| ·精密主轴系统的微小型化研究概述 | 第33-39页 |
| ·论文研究的主要内容、目的和意义 | 第39-43页 |
| ·研究课题的提出 | 第39-41页 |
| ·论文的目的、主要内容及创新点 | 第41-42页 |
| ·研究的意义 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第2章 纳秒脉宽脉冲电化学微加工的基本理论 | 第44-62页 |
| ·电化学微加工的基本原理 | 第44-47页 |
| ·电化学加工的技术原理 | 第44-45页 |
| ·电化学微加工的特点 | 第45-47页 |
| ·纳秒脉宽脉冲电化学加工的理论模型 | 第47-54页 |
| ·阳极电极电位的瞬态模型 | 第47-51页 |
| ·加工电流密度模型和加工速度模型 | 第51-54页 |
| ·纳秒脉宽脉冲电化学微加工的定域性分析 | 第54-56页 |
| ·常规电解加工的定域性及距离敏感性 | 第54页 |
| ·纳秒脉宽脉冲电解加工定域性分析 | 第54-56页 |
| ·纳秒脉宽脉冲电化学微加工的数值仿真 | 第56-61页 |
| ·电极电位及加工规律的仿真计算 | 第56-60页 |
| ·网格等效电路的仿真模拟方法 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第3章 电化学微加工系统的设计 | 第62-87页 |
| ·电化学微加工系统的总体要求 | 第62页 |
| ·纳秒脉宽脉冲电化学微加工具体实施方案分析 | 第62-65页 |
| ·基于双恒电位仪的三电极体系电化学微加工系统 | 第63-64页 |
| ·基于平衡电极调压的两电极加工体系 | 第64-65页 |
| ·加工系统的硬件组成 | 第65-76页 |
| ·运动系统平台 | 第66-72页 |
| ·加工电源部分 | 第72-73页 |
| ·电解液槽及其水平调整机构 | 第73-74页 |
| ·显微观测部分 | 第74-75页 |
| ·工具电极的引电与绝缘 | 第75-76页 |
| ·控制系统及软件设计 | 第76-85页 |
| ·控制系统的基本功能 | 第76-79页 |
| ·控制系统各部分组成 | 第79-83页 |
| ·加工系统控制软件的开发 | 第83-85页 |
| ·构建加工系统的若干注意事项 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第4章 新型柔性回转轴承的设计研究 | 第87-132页 |
| ·主轴系统回转误差的基本概念 | 第87-91页 |
| ·回转轴线与回转精度的定义 | 第87-88页 |
| ·全跳动与主轴回转误差的区别 | 第88页 |
| ·主轴回转误差的分类 | 第88-91页 |
| ·柔性回转轴承设计概念的提出 | 第91-98页 |
| ·传统回转轴承概述 | 第91-95页 |
| ·柔性回转轴承的概念设计 | 第95-98页 |
| ·柔性回转轴承的总体设计 | 第98-105页 |
| ·柔性回转轴承的基本结构 | 第98-100页 |
| ·柔性回转轴承的自由度分析 | 第100-102页 |
| ·柔性回转轴承的结构设计准则 | 第102-105页 |
| ·柔性回转轴承的详细设计过程 | 第105-128页 |
| ·轴承材料的选择 | 第106-107页 |
| ·应力的特点分析 | 第107-109页 |
| ·轴承强度分析与计算 | 第109-115页 |
| ·轴承设计ANSYS计算的基本步骤 | 第115-117页 |
| ·扭转节的扭转特性曲线图 | 第117-119页 |
| ·各设计尺寸参数的确定准则 | 第119-122页 |
| ·回转误差分析与控制 | 第122-126页 |
| ·轴承结构紧凑性的设计与评价变量 | 第126页 |
| ·柔性回转轴承的总体设计流程 | 第126-128页 |
| ·柔性回转轴承的设计实例 | 第128-130页 |
| ·各类轴承之间性能的比较 | 第130-131页 |
| ·本章小结 | 第131-132页 |
| 第5章 柔性回转轴承的制造和装配技术研究 | 第132-157页 |
| ·柔性回转轴承制造的整体思路 | 第132-135页 |
| ·轴承的制造特点 | 第132-134页 |
| ·轴承扭转管的制造工艺路线 | 第134-135页 |
| ·柔性片的制造技术研究 | 第135-154页 |
| ·柔性片加工方法的选择 | 第135-136页 |
| ·减小工件内部的残余应力 | 第136页 |
| ·加强加工过程中的工件刚度 | 第136-141页 |
| ·柔性片的切割顺序及其规划 | 第141-142页 |
| ·电极丝的振动和偏移对WEDM加工精度的影响 | 第142-148页 |
| ·柔性片的WEDM加工过程 | 第148-152页 |
| ·WEDM加工的结果 | 第152-154页 |
| ·柔性回转轴承的装配技术 | 第154-156页 |
| ·本章小结 | 第156-157页 |
| 第6章 柔性回转轴承主轴单元及其性能测试方法研究 | 第157-169页 |
| ·柔性回转轴承主轴单元的组成 | 第157-162页 |
| ·主轴单元的组成结构 | 第157页 |
| ·驱动电机的选用 | 第157-159页 |
| ·弹性联轴器 | 第159-161页 |
| ·其它若干注意事项 | 第161-162页 |
| ·柔性回转轴承的扭转振动特性分析与测试 | 第162-164页 |
| ·扭转振动的理论分析模型 | 第162-163页 |
| ·扭转振动频率的测试 | 第163-164页 |
| ·主轴单元回转误差的测试技术 | 第164-168页 |
| ·回转误差测试的特点 | 第164-165页 |
| ·几种可能的回转误差测试方法 | 第165-168页 |
| ·本章小结 | 第168-169页 |
| 第7章 电化学微加工的初步工艺试验 | 第169-181页 |
| ·微细工具电极的在线制作 | 第169-179页 |
| ·微细工具电极的形状及材料 | 第169页 |
| ·微细工具电极的制作方法 | 第169-175页 |
| ·圆柱状微细工具电极的电化学腐蚀方法 | 第175-179页 |
| ·不锈钢的电化学微加工注意事项 | 第179-180页 |
| ·电解液的选用方法 | 第179-180页 |
| ·加工参数的辅助选定方法 | 第180页 |
| ·本章小结 | 第180-181页 |
| 结论与展望 | 第181-183页 |
| 参考文献 | 第183-195页 |
| 附录A 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第195-196页 |
| 附录B 攻读博士学位期间所获科技奖励及专利 | 第196-197页 |
| 附录C 加工间隙变化规律的MATLAB仿真计算程序 | 第197-198页 |
| 附录D 柔性回转轴承设计的ANSYS APDL计算程序 | 第198-202页 |
| 附录E 柔性回转轴承的制造及其检测结果 | 第202-207页 |
| 附录F 柔性回转轴承主轴单元及其在机床中的配置 | 第207-208页 |
| 附录G 恒电流密度法电流规律的MATLAB计算程序 | 第208-210页 |
| 致谢 | 第210-211页 |
