一种组合式AFM系统的设计与实现
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·原子力显微镜技术的发展概况 | 第8-10页 |
| ·扫描隧道显微镜的诞生 | 第8页 |
| ·原子力显微镜的问世 | 第8-10页 |
| ·原子力显微镜的应用领域 | 第10-11页 |
| ·AFM 作用机制 | 第11-13页 |
| ·AFM 的工作模式 | 第13-15页 |
| ·空气和液体中的接触模式 | 第13-14页 |
| ·非接触式 | 第14页 |
| ·轻敲模式 | 第14-15页 |
| ·AFM 微悬臂偏转量的检测方法 | 第15-18页 |
| ·课题研究的主要目的和内容 | 第18-20页 |
| 第二章 组合式AFM 系统的总体设计 | 第20-26页 |
| ·探针自动逼近装置 | 第21-22页 |
| ·ULTRAObjective 原子力测头 | 第22-24页 |
| ·nPoint 纳米定位平台 | 第24-26页 |
| 第三章 组合式AFM 系统的硬件设计 | 第26-37页 |
| ·机械结构设计 | 第27-28页 |
| ·探针逼近装置电路设计 | 第28-35页 |
| ·系统微控制器 | 第28-30页 |
| ·数据采集芯片 | 第30-33页 |
| ·驱动执行机构 | 第33-35页 |
| ·nPoint 定位平台电路设计 | 第35页 |
| ·系统整体电气连接方案 | 第35-37页 |
| 第四章 组合式AFM 系统的软件设计 | 第37-50页 |
| ·系统整体流程设计 | 第37-38页 |
| ·探针自动逼近程序 | 第38-45页 |
| ·步进电机控制策略 | 第38页 |
| ·Visual Basic 控制程序 | 第38-42页 |
| ·串口通讯 | 第42-45页 |
| ·nPoint 定位平台软件设计 | 第45-50页 |
| ·图像扫描程序 | 第45-47页 |
| ·信号数字滤波 | 第47-50页 |
| 第五章 系统性能测试及实验结果分析 | 第50-64页 |
| ·数据通讯实验 | 第50-51页 |
| ·步进电机控制实验 | 第51-53页 |
| ·表面形貌扫描 | 第53-58页 |
| ·SIS 测头样品扫描 | 第54-57页 |
| ·nPoint 台阶扫描 | 第57-58页 |
| ·悬臂梁法向弹性系数标定 | 第58-61页 |
| ·实验结果分析 | 第61-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
