| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-16页 |
| 第一章 综述 | 第16-46页 |
| ·铁电材料 | 第16-34页 |
| ·铁电材料的基本概念 | 第16-17页 |
| ·铁电材料的历史 | 第17-18页 |
| ·钙钛矿结构 | 第18-20页 |
| ·铁电材料的物理性质 | 第20-26页 |
| ·介电性 | 第20-22页 |
| ·铁电性 | 第22-26页 |
| ·钛酸锶钡（BST）材料 | 第26-34页 |
| ·钛酸锶钡（BST）的性质 | 第26-28页 |
| ·钛酸锶钡（BST）铁电薄膜的性质 | 第28-29页 |
| ·钛酸锶钡（BST）铁电薄膜的掺杂改性 | 第29-34页 |
| ·铁电薄膜的掺杂改性 | 第29-30页 |
| ·掺杂的分类 | 第30-34页 |
| ·钛酸锶钡（BST）铁电薄膜电容器在电子行业中的应用 | 第34-36页 |
| ·电子行业的发展及对埋入电容器的需求 | 第34-35页 |
| ·埋入电容器的分类 | 第35页 |
| ·国内外对埋入电容器的研究现状及存在的问题 | 第35-36页 |
| ·基体的选择及退火气氛 | 第36-39页 |
| ·传统的薄膜基体材料 | 第36-37页 |
| ·金属基体材料的发展 | 第37页 |
| ·以金属铜为基体的可行性分析 | 第37-38页 |
| ·以金属为基体的研究现状 | 第38-39页 |
| ·本论文研究的目的及研究方案 | 第39-41页 |
| 参考文献 | 第41-46页 |
| 第二章 薄膜的分析、测试方法及原理 | 第46-55页 |
| ·X射线衍射原理 | 第46-47页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第47-48页 |
| ·SEM形貌观察 | 第48-49页 |
| ·HRTEM 分析 | 第49-50页 |
| ·热分析(DTA-TG) | 第50-51页 |
| ·介电性的测试 | 第51-52页 |
| ·铁电性的测试 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第三章 钛酸锶钡薄膜的制备工艺 | 第55-69页 |
| ·溶胶凝胶技术 | 第56-61页 |
| ·溶胶凝胶工艺的发展历史 | 第56-57页 |
| ·溶胶凝胶工艺的基本原理 | 第57-58页 |
| ·溶胶凝胶技术制备薄膜的工艺过程 | 第58-61页 |
| ·Sol-Gel工艺制备薄膜的成膜方法 | 第58页 |
| ·旋涂法成膜 | 第58-59页 |
| ·薄膜的热处理 | 第59-60页 |
| ·薄膜的形成机理 | 第60-61页 |
| ·实验原料与仪器 | 第61-63页 |
| ·实验原料 | 第61页 |
| ·实验设备及器材 | 第61-62页 |
| ·基片的清洗 | 第62-63页 |
| ·钛酸锶钡（简称：BST）薄膜的制备 | 第63-67页 |
| ·BST溶胶的配制 | 第63-64页 |
| ·BST溶胶的反应机理 | 第64页 |
| ·成膜及BST薄膜的热处理 | 第64-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第四章 聚乙二醇对钛酸锶钡薄膜的影响 | 第69-89页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·实验 | 第70-71页 |
| ·(Ba, Sr)TiO_3 (BST) 溶胶的配制 | 第70-71页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第71页 |
| ·结果与讨论 | 第71-87页 |
| ·DTA- Tg 热分析 | 第71-76页 |
| ·PEG 对BST薄膜形貌的影响 | 第76-80页 |
| ·PEG 对BST薄膜表面形貌的影响 | 第76-78页 |
| ·薄膜中裂纹的形成机理 | 第78-80页 |
| ·BST薄膜的 XRD 分析 | 第80-82页 |
| ·BST 薄膜的 SEM 分析 | 第82-83页 |
| ·PEG 对 BST 薄膜介电性的影响 | 第83-85页 |
| ·PEG对BST薄膜铁电性的影响 | 第85-86页 |
| ·PEG对BST薄膜漏电性的影响 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-89页 |
| 第五章 La_2O_3缓冲层对钛酸锶钡薄膜的影响 | 第89-119页 |
| ·引言 | 第89-90页 |
| ·实验 | 第90页 |
| ·La_2O_3 缓冲层的制备 | 第90页 |
| ·钛酸锶钡（BST）薄膜的制备 | 第90页 |
| ·结果与讨论 | 第90-115页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜 | 第90-111页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的XRD 分析 | 第90-93页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的SEM 分析 | 第93-94页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的XPS 分析 | 第94-106页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的深度剖析 | 第94-101页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的XPS分谱分析 | 第101-106页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的介电性分析 | 第106-109页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的铁电性分析 | 第109-110页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3 薄膜的漏电性分析 | 第110-111页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜 | 第111-115页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜的XRD 分析 | 第111-112页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜的SEM分析 | 第112页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜的介电性分析 | 第112-114页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜的铁电性分析 | 第114-115页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 薄膜的漏电性分析 | 第115页 |
| ·本章小结 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-119页 |
| 第六章 掺杂Mn对BST薄膜的影响 | 第119-151页 |
| ·引言 | 第119-120页 |
| ·实验 | 第120-121页 |
| ·掺杂Mn的钛酸锶钡溶胶的配制 | 第120-121页 |
| ·掺杂Mn的钛酸锶钡薄膜的制备 | 第121页 |
| ·结果与讨论 | 第121-147页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜 | 第121-140页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的XRD分析 | 第121-124页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的表面和断面形貌分析 | 第124-127页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的HRTEM分析 | 第127-130页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的XPS分析 | 第130-134页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的介频性能分析 | 第134-135页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的介电性能与电场的关系 | 第135-138页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的铁电性分析 | 第138-139页 |
| ·Ba_(0.7-x)Sr_(0.3)Mn_xTiO_3 薄膜的漏电性分析 | 第139-140页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜 | 第140-147页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜的XRD分析 | 第140-142页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜的SEM分析 | 第142-143页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜的介频性能分析 | 第143-144页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜的介电性能与电场的关系 | 第144-145页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜的铁电性分析 | 第145-146页 |
| ·Ba_(0.5-x)Sr_(0.5)Mn_xTiO_3 薄膜的漏电性分析 | 第146-147页 |
| ·本章小结 | 第147-149页 |
| 参考文献 | 第149-151页 |
| 第七章 掺杂Zr对BST薄膜的影响 | 第151-170页 |
| ·引言 | 第151-152页 |
| ·实验 | 第152-154页 |
| ·(Ba,Sr)(Ti,Zr)O_3（BSZT）溶胶的配制 | 第152-153页 |
| ·BSZT 薄膜的制备 | 第153-154页 |
| ·结果与分析 | 第154-168页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜 | 第154-164页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的XRD分析 | 第154-155页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的SEM分析 | 第155-157页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的HRTEM分析 | 第157-158页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的介频性能分析 | 第158-160页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的介电性能与电场的关系 | 第160-162页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的P-E电滞回线 | 第162-163页 |
| ·Ba_(0.7)Sr_(0.3)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的漏电流分析 | 第163-164页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜 | 第164-168页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的介频性能分析 | 第164-165页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的介电行为与电场的关系 | 第165-167页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)((Ti_(1-x)Zr_x)O_3 薄膜的P-E电滞回线 | 第167-168页 |
| ·本章小结 | 第168-169页 |
| 参考文献 | 第169-170页 |
| 第八章 总结 | 第170-173页 |
| 创新及研究展望 | 第173-174页 |
| 致谢 | 第174-175页 |
| 博士期间发表和待发表的学术论文 | 第175-176页 |
