| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·MEMS 及RF MEMS 技术 | 第10-11页 |
| ·微电子机械系统（MEMS）简介 | 第10页 |
| ·RF MEMS 技术及其研究意义 | 第10-11页 |
| ·静电驱动RF MEMS 开关研究概况 | 第11-17页 |
| ·DC 接触式串联开关原理及研究概况 | 第11-14页 |
| ·电容式并联开关原理和研究概况 | 第14-17页 |
| ·横向热驱动金属-金属接触开关研究进展 | 第17-20页 |
| ·热-电-机械耦合MEMS 驱动器研究进展及应用 | 第17-18页 |
| ·横向热驱动金属-金属接触开关研究进展 | 第18-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 RF MEMS 开关基本机械力学理论 | 第21-40页 |
| ·静电驱动RF MEMS 开关机械力学模型 | 第21-25页 |
| ·静电驱动MEMS 开关静态力学特性 | 第21-23页 |
| ·静电驱动MEMS 开关动态力学特性 | 第23-25页 |
| ·静电驱动RF MEMS 开关失效现象 | 第25-28页 |
| ·DC 接触式静电MEMS 开关中的翘曲效应 | 第25-26页 |
| ·DC 接触式静电MEMS 开关中的粘连效应 | 第26-28页 |
| ·横向热驱动器原理 | 第28-36页 |
| ·折叠U 型梁热驱动器原理 | 第28-32页 |
| ·V 型梁热驱动器原理 | 第32-36页 |
| ·横向热驱动MEMS 开关结构设计 | 第36-39页 |
| ·折叠U 型梁热驱动单刀单掷MEMS 开关结构 | 第36-38页 |
| ·V 型梁热驱动单刀双掷开关结构 | 第38-39页 |
| ·本章小节 | 第39-40页 |
| 第三章 RF MEMS 开关电磁模型 | 第40-49页 |
| ·共面波导（CPW）传输线分析与设计 | 第40-44页 |
| ·共面波导（CPW）传输线特性分析 | 第40-41页 |
| ·共面波导（CPW）传输线尺寸设计 | 第41-44页 |
| ·RF MEMS 开关电磁模型 | 第44-47页 |
| ·截止（up）态电容 | 第45-46页 |
| ·开关up 态等效阻抗和隔离度 | 第46页 |
| ·开启（down）态电阻 | 第46-47页 |
| ·开关down 态等效阻抗和损耗 | 第47页 |
| ·本章小节 | 第47-49页 |
| 第四章 横向热驱动RF MEMS 开关性能仿真 | 第49-60页 |
| ·IntelliSuite 有限元仿真软件介绍 | 第49页 |
| ·HFSS 电磁仿真软件介绍 | 第49-50页 |
| ·横向热驱动单刀单掷（SPST）RF MEMS 开关性能分析 | 第50-54页 |
| ·单刀单掷MEMS 开关机械特性分析 | 第50-52页 |
| ·单刀单掷MEMS 开关电磁特性分析 | 第52-54页 |
| ·横向热驱动单刀双掷（SPDT）RF MEMS 开关性能分析 | 第54-59页 |
| ·单刀双掷MEMS 开关机械特性分析 | 第54-58页 |
| ·单刀双掷MEMS 开关电磁特性分析 | 第58-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 第五章 横向热驱动MEMS 开关制作工艺介绍与版图设计 | 第60-70页 |
| ·MetalMUMPs 工艺介绍 | 第60页 |
| ·横向热驱动MEMS 开关工艺流程 | 第60-64页 |
| ·横向热驱动MEMS 开关版图设计 | 第64-68页 |
| ·MetalMUMPs 工艺版图设计规则 | 第64-65页 |
| ·横向热驱动单刀单掷开关版图设计 | 第65-66页 |
| ·横向热驱动单刀双掷开关版图设计 | 第66-68页 |
| ·芯片整体版图 | 第68页 |
| ·横向热驱动MEMS 开关制作结果 | 第68-69页 |
| ·本章小节 | 第69-70页 |
| 第六章 结论 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第77-78页 |
