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多层结构声表面波传播特性的理论研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-17页
   ·导言第10-14页
     ·声表面波器件基本结构和工作原理第10-12页
     ·声表面波器件研究概况第12-14页
   ·多层结构声表面波器件理论的研究进展第14-16页
   ·本文的研究意义及主要工作第16-17页
第二章 压电介质的基本性质第17-29页
   ·晶体的弹性性质第17-21页
     ·应变张量第17-19页
     ·应力张量第19-20页
     ·广义胡克定律第20-21页
     ·弹性体动力学方程第21页
   ·晶体的介电性质第21-23页
     ·各向异性电介质中的介电关系第22页
     ·晶体的介电常数张量第22-23页
     ·静态介电常数、动态介电常数及电介质损耗第23页
   ·压电效应与压电方程第23-29页
     ·压电效应第24-26页
     ·压电常数张量第26页
     ·压电方程第26-28页
     ·机电耦合系数第28-29页
第三章 半无限压电介质声表面波基本理论第29-53页
   ·导言第29-30页
   ·半无限压电介质的耦合波动方程及其边界条件第30-34页
     ·压电介质的耦合波动方程第31-32页
     ·半无限压电介质的边界条件第32-34页
   ·半无限压电介质耦合波动方程解的讨论第34-46页
     ·分波解法(Partial Wave Formalism)第34-40页
     ·格林函数(Green’s Function)第40-43页
     ·表面有效介电常数(Effective Surface Permittivity)第43-46页
   ·半无限压电介质声表面波的状态变量分析法第46-53页
     ·状态变量与状态方程第47-49页
     ·状态方程解的讨论第49-51页
     ·广义格林函数与表面有效介电常数第51-53页
第四章 多层结构介质声表面波理论第53-65页
   ·基于半无限衬底多层介质的状态变量分析法第53-60页
     ·传递矩阵(Transfer Matrix)第54-55页
     ·层刚度矩阵(Layer Stiffness Matrix)第55-57页
     ·衬底的表面刚度矩阵(Surface Stiffness Matrix for a Substrate)第57页
     ·总刚度矩阵(Total Stiffness Matrix)第57-60页
   ·广义格林函数和表面有效介电常数第60-63页
     ·广义格林函数第60-62页
     ·表面有效介电常数第62-63页
   ·多层介质内部波振幅的求解第63-65页
     ·有限厚度多层介质板内部波振幅的求解第64页
     ·基于衬底多层介质板内部波振幅的求解第64-65页
第五章 压电薄膜/金刚石多层结构声表面波传播特性分析第65-78页
   ·导言第65-66页
   ·压电薄膜/金刚石多层结构声表面波理论分析第66-73页
     ·不同类型压电薄膜/金刚石多层结构SAW 的广义格林函数第69-72页
     ·不同类型压电薄膜/金刚石多层结构SAW 的表面有效介电常数第72-73页
   ·理论验证第73-78页
第六章 全文总结与展望第78-79页
参考文献第79-84页
附录A第84-86页
附录B第86-87页
附录C第87-89页
发表论文和科研情况说明第89-90页
致谢第90-91页

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