摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-10页 |
第一章 绪论 | 第10-17页 |
·导言 | 第10-14页 |
·声表面波器件基本结构和工作原理 | 第10-12页 |
·声表面波器件研究概况 | 第12-14页 |
·多层结构声表面波器件理论的研究进展 | 第14-16页 |
·本文的研究意义及主要工作 | 第16-17页 |
第二章 压电介质的基本性质 | 第17-29页 |
·晶体的弹性性质 | 第17-21页 |
·应变张量 | 第17-19页 |
·应力张量 | 第19-20页 |
·广义胡克定律 | 第20-21页 |
·弹性体动力学方程 | 第21页 |
·晶体的介电性质 | 第21-23页 |
·各向异性电介质中的介电关系 | 第22页 |
·晶体的介电常数张量 | 第22-23页 |
·静态介电常数、动态介电常数及电介质损耗 | 第23页 |
·压电效应与压电方程 | 第23-29页 |
·压电效应 | 第24-26页 |
·压电常数张量 | 第26页 |
·压电方程 | 第26-28页 |
·机电耦合系数 | 第28-29页 |
第三章 半无限压电介质声表面波基本理论 | 第29-53页 |
·导言 | 第29-30页 |
·半无限压电介质的耦合波动方程及其边界条件 | 第30-34页 |
·压电介质的耦合波动方程 | 第31-32页 |
·半无限压电介质的边界条件 | 第32-34页 |
·半无限压电介质耦合波动方程解的讨论 | 第34-46页 |
·分波解法(Partial Wave Formalism) | 第34-40页 |
·格林函数(Green’s Function) | 第40-43页 |
·表面有效介电常数(Effective Surface Permittivity) | 第43-46页 |
·半无限压电介质声表面波的状态变量分析法 | 第46-53页 |
·状态变量与状态方程 | 第47-49页 |
·状态方程解的讨论 | 第49-51页 |
·广义格林函数与表面有效介电常数 | 第51-53页 |
第四章 多层结构介质声表面波理论 | 第53-65页 |
·基于半无限衬底多层介质的状态变量分析法 | 第53-60页 |
·传递矩阵(Transfer Matrix) | 第54-55页 |
·层刚度矩阵(Layer Stiffness Matrix) | 第55-57页 |
·衬底的表面刚度矩阵(Surface Stiffness Matrix for a Substrate) | 第57页 |
·总刚度矩阵(Total Stiffness Matrix) | 第57-60页 |
·广义格林函数和表面有效介电常数 | 第60-63页 |
·广义格林函数 | 第60-62页 |
·表面有效介电常数 | 第62-63页 |
·多层介质内部波振幅的求解 | 第63-65页 |
·有限厚度多层介质板内部波振幅的求解 | 第64页 |
·基于衬底多层介质板内部波振幅的求解 | 第64-65页 |
第五章 压电薄膜/金刚石多层结构声表面波传播特性分析 | 第65-78页 |
·导言 | 第65-66页 |
·压电薄膜/金刚石多层结构声表面波理论分析 | 第66-73页 |
·不同类型压电薄膜/金刚石多层结构SAW 的广义格林函数 | 第69-72页 |
·不同类型压电薄膜/金刚石多层结构SAW 的表面有效介电常数 | 第72-73页 |
·理论验证 | 第73-78页 |
第六章 全文总结与展望 | 第78-79页 |
参考文献 | 第79-84页 |
附录A | 第84-86页 |
附录B | 第86-87页 |
附录C | 第87-89页 |
发表论文和科研情况说明 | 第89-90页 |
致谢 | 第90-91页 |